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平成20年度成果報告書シームレスな位置情報検出を実現する
管理番号＃１６－０３
平成２０年度
成果報告書
シームレスな位置情報検出を実現する
高精度角速度センサチップの研究開発
委託先： ㈱国際電気通信基礎技術研究所
平成２１年４月
情報通信研究機構
1
平成２０年度 成果報告書
（一般型）
「シームレスな位置情報検出を実現する高精度角速度センサチップの研究開発」
目 次
１ 研究開発課題の背景 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
２ 研究開発の全体計画
2-1 研究開発課題の概要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
2-2 研究開発目標 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2-2-1 最終目標 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2-2-2 中間目標 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2-3 研究開発の年度別計画 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
３ 研究開発体制 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3-1 研究開発実施体制 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
４ 研究開発実施状況
4-1 角速度センサチップ最適設計理論の研究の研究開発の研究開発 . . . . . . . . . . . 10
4-1-1 序論 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4-1-1-1 位置付け . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4-1-1-2 研究方針 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4-1-2 実施状況 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4-1-3 達成状況 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4-2 角速度センサチップ作製技術の研究開発の研究開発 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4-2-1 序論 .
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