基于垂直扫描白光干涉法的6JA干涉显微镜的改造.pdfVIP

ISSN 1002 -4956 CNII -2034/T 实验技术与管理 第24卷第4 期 2∞7 年 4 月 飞/01. 24 No.4 Apr. 2∞7 Experimental Technology and Mana喜e皿enl 基于垂直扫描白光干涉法的 6JA 干涉显微镜的改造 汪洁，谢铁邦 (华中科技大学机械科学与工程学院，湖北武汉 430074) 摘 要:介绍了一种基于垂直捏描白光干涉法的 6JA 干涉显微镜改造的总体方案、系统酶量原理、仪器结 构，以及对标准样板及圆柱零件的测试结果。该测量系统己对本科生和研究生开出实验并投入实展，其垂 直分辨率为 2 nm，横向分辨率为 0.3μ.m，垂直扫描范围为 80μmo 关键混: 6JA 干涉显微镜z 表面形辑测量;扫描白无干涉法 中图分类号: TH744.3 文献标识码:B 文章编号: 1002-4956 ( 2007 ) 04-∞58-03 Upgrade of the 6JA interferometer 岛ased on vertical scanning white- light interferometric W ANG Jie , XIE Tie- bang (Sch∞1 of Mechanical Science and Engineering , Huazhong University , Wuhan 43∞74 ， China) Abstract: This paper inù百duces the upgrade of the 6JA interferometer based on vertical scanning white-light interfer- ometric. The alteration plan , principle , structure and experiment results are also given. This instrument has been successfully used for several applications and made several experiment for graduate students. The vertical me槌urement rangεand resolution of the instrument are 80 抖m and 2 nm. The horizontal r毛solution is O. 3μffi. Key words: 6JA interferometer; sun.在.ce topography measurement; scanning white lig挝 interference 6JA 干涉显微镜是由上海光学仪器厂生产的非 接触痴量表面粗糙度的主要仪器，主要属于测量 Rz 为 0.03 -1μm (V 10 - V 14) 的表面起糙度、 零件表面刻线、刻槽镀层(透明)等深度。睡着 微机电系统 (MEM5) 、微电子、生物医学、材料 及信息科学等前沿领域的发展，出现了超光滑或超 精细结构的表面，特别是超大规模集成电路硅片表 面、大功率激光器谐振应表面、各类软虞金属材料 表面结构，商这些超精表面程糙度均方根值已达到 亚散米及纳米量级，这就要求测量仪器及评定方法 有一个质的改进。因此我们对 6JA 干涉显微镜进 行了改造租升级，研制了一种基于垂直扫撞白光干 涉原理的表菌微观形貌测量仪器。它是在 6JA 干涉 显微镜的基础上配以纳米计量疆动工作台、 CCD 收稿日期: 2α}面-06-21 作者简介:汪洁( 1972一) ，女，湖北省潜江县人，硕士，工程 师，华中科技大学机械学院仪器系精密测量实验室主 任，主要研究方向:精密测量技术 摄像、计算视技术及强大的软件系统改造商成，挂 满试精度从原来的约 O. 1μm 微米提高到绵米等 级，雨时垂直提量范围也扩大到 80μ1110 1 6JA 干涉显微镜简介 6JA 干涉显微镜属于 Linnik 型分光路干苦苦显微 镜，由光挥、 S 发出的光束，经聚无镜 05 、 06 和反 光镜 51射到分先板 T后分为 2 束。 1 束光透过分先 援 T、补搓搓 T1 、显数物镜 O2后射向被费1工件 P2 的表面，自 P2反射后经原路返回至分光毅 τ，再在 T 上反射，射向观察自镜 03 ;另 I 束光由分先板 T 反射后通过物镜 01 射到标准镜 P1 上，自 PI 反射， 透过分光毅 T 后也射离观察目镜 03 ， 2 束光在 03 的焦平面上相遇。当两束光的光程梧等时，发生干 楼，产生于涉条纹。于涉条纹的弯曲程度反映了表 面微观不平程度，测出于涉条纹多个埠谷高度差 α 及条纹间