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‘
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、
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.
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.
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J
‘
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:
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’
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、
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.
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,
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‘、
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卜涉仪
、
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.
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、
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、
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.
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.
川 IL了丁热稳定性的 .捅板翩
开
.
在两个反 射镜之 间有
·
段 1司定撇离
,
波长的改
’
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化)引起光程 长度的变化
.
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f以 脸测出这种变化 从波
长跟随器的输出 光束进 入接收器
.
再以 电信号输 入电
气箱
。
山自动补偿电路计劝
.
出波长修正 }川广
「
’了测 }
.哥认浅
度
、
压力和湿度的方法们!比较
.
彼 长跟 随器能 卜分枯确
地测墩出波长的变化 如 果能很好地并制环境条件
.
例
如 用 J
“
集成电路曝 光机
.
相应的波长修 1
:
效 果人约能
提高
一
个数
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