双频激光干涉仪在机床检定中的应用.pdfVIP

双频激光干涉仪在机床检定中的应用 成都工具研究所 羡一 民 俞成栋 于光华 于东升 曹益平 摘要 介绍 了双倾激光干沙仪在机来检定 中检定数撞机未位 1 精度 , 检定直线度 、 垂直度 和平 面度的方法 , 还介绍 了影响浏贡精度的因素 . 关桩词 激光千涉仪 机床检定 位t 精度 ! 线度 垂 ! 度 平面度 双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪基础 上发展的一种外差式干涉仪 , 被测信号载波在 一个固定频差上 , 使整个系统成为交流系统 , 大 大提高了抗干扰能力 , 特别适合于现场使用 , 是 机床检定的理想工具 。 双频激光干涉仪附件较多 , 操作较复杂 , 如 何正确使用 , 如何保证测量精度是用户所关心 的 。 本文结合我所生产的M Js 双频激光干涉仪 对上述两个间题作一简要介绍 , 对其他厂家生 产的双频激光干涉仪也不失具有一般意义 。 在垂直轴检定时有两种安装方法 , 如图 2 所示 。 左图是将长度干涉仪的参考梭镜与测量 反射镜交换使用 , 使测量光束折转 90 。 右图是 使用专用五棱镜将测量光束折转 9 0 。 后者在 现场安装时较为方便 。 具 2 绒 一 、 用双频激光干涉仪检定 数控机床位置精度 用本干涉仪检定位置精度时 , 使用长度干 涉仪和测量反射镜附件 。 图 1 为水平轴检定的 典型布局 , 测量时将长度干涉仪置于固定位置 , 测量反射镜置于运动部件上 , 亦可相反 。 图 2 垂直轴位t 精度检定 1 . 徽光头 2 . 长度千涉仪 3 . 侧t 反射镜 4 . 折 向五梭镜 图 3 是用 MJS 双频激光干涉仪检定数控{ 机床位置精度的结果 , 数据是按 G B IO9 31 一 89 } 处理的 。 其中1 、 ? 两条曲线是正 、 反向定位箱} 度曲线 ;o 、 ? 为正 、 反向平均偏差曲线 ; ?为系j 统偏差曲线 , 它是数控机床精度修正的依据 . 这 图 1 水平轴位t 精度检定 国泊导 1 . 徽光头 2 . 工作台 3 . 长度干涉仪 4 . 侧t 反射镜 。 8 。 图 3 致控机床位t 精度曲舰 《们趁位术与权床》 5 条曲线提供了位置精度的全部信息 。 以图中 所示 目标位置 N 12 为例 , 1 、 o之间和? 、 ? 之 间距离表明了该位置的随机误差 , o和? 之差 即该位置的换向误差 , ? 值为该点的系统误差 。 M JS 双频激光干涉仪可采用 3 种测量循 环 (线性循环 、 逐点循环 、 阶梯循环 )检定数控机 床 。 检测方式分手动和自动两种形式 , 在使用 自 动检测方式时 , 测量和数据处理全过程自动化 , 无需人工干预 , 充分 体现了用双频激光干涉仪 检定位置精度的优越性 。 二 、 直线度 、 垂直度 、 平行度 及平面度的检定 双频激光千涉仪与不同附件结合 , 可以测 量直线度 、 垂直度 、 平行度及平面度 。 由于仪器 系模块化结构 , 安装位置灵活 , 便于分析机床误 差来源 ,而且测量时可以在机床工作部件运动 过程中自动采集数据 , 更接近机床的实际使用 状态 , 这是传统的测量手段难以做到的 。 因此用 双频激光干涉仪检测上述各项误差 , 是一种有 特点的好方法 。 使用双频激光干涉仪检测直线度有两种方 法 , 一是角度测量法 , 即用角度干涉仪测量工作 台的偏摆角度 ;另一是横向位移测量法 , 即用直 线度干涉仪测量机床工作台的横向位移量 。 图 4 为用角度干涉仪测量直线度的布局 。 角度干涉仪分光镜固定于机床主轴或其他固定 支点 , 角度反射镜置于工作台面上 。 工作台若平 行移动 , 由于射向角度反射镜的两束光产生相 同的多普勒频移 , 相互抵消 。 若工作台有偏摆角 度则测出摆角的量值 。 将图 4 中的角度干涉仪分光镜改为乌拉斯 顿棱镜 , 角度反射镜改为双平面反射镜即可测 量工作台的横向位移 。 与使用角度干涉仪时一 样 , 测量时不能感受工作台的轴向位移 。 但需要 指出 : 只有在工作台没有摆动时这种测量布局 才合理 。 若工作台有摆动 y , 如图 5 所示 , 则引 起双平面反射镜绕 O 点旋转 , 同样会产生 士 。人 和干乙几 , 难以得到正确的测量值 。 因此 , 在 工作台有偏摆的情况下 , 应将乌拉斯顿棱镜安 装于运动部件上 , 而双平面反射镜置于 固定点 上 。 当乌拉斯顿棱镜有横向位移时 , 由于内部折 射率对不同偏振光的差异而造成 人 、 几 两光束 不同频移量 。 同时 , 乌拉斯顿棱镜又可近似视为 平行平面板 , 可以证明偏摆对测量的影响是很 小的 。 ’ : ’ l , \ 图 5 横向位移测t 1 . 折光组件 2 . 乌拉斯顿梭镜 3 . 双平面反射镜 垂直度的测量使用乌拉斯顿棱