丝杠传动工作台运动特性与误差分析_胡小文.pdfVIP

第 24 卷第 4 期 湖 北 工 业 大 学 学 报 2009 年 08 月 Vol. 24 No. 4 Journal of Hubei University of Technology Aug. 2009 [收稿日期] 2009- 03- 19 [作者简介] 胡小文( 1983- ) , 女, 湖北武汉人,湖北工业大学硕士研究生, 研究方向:机械传动新技术. [文章编号] 1003- 4684( 2009) 04-0010-03 丝杠传动工作台运动特性与误差分析 胡小文, 龚发云, 王选择 (湖北工业大学机械工程学院, 湖北 武汉 430068) [摘 要] 对丝杠传动工作台的微定位特性进行了实验分析, 观察高速运行时工作台位移存在振荡现象, 分析 了这种现象产生的原因. 对工作台这种非线性运动造成的运动精度不高提出相应的措施, 对定位误差做曲线 拟合, 实现误差的软件补偿.结果表明, 经补偿后,滚珠丝杠传动工作台的定位精度达到 2 m. [关键词] 滚珠丝杠传动; 定位误差; 曲线拟合; 软件补偿 [中图分类号] TG502 [文献标识码] : A 在表面形貌测量、精密加工、MEMS (微电机系 统)控制、生物医学工程、半导体光刻技术中, 大范 围、高精度的位移测量与位移驱动系统具有重要的 意义 [ 1] .国内外已经研制出的各种精密定位系统(如 直线电机驱动、摩擦驱动、扭轮驱动等) ,都能实现大 行程高精度的定位, 但这些系统结构复杂, 成本过 高.因此, 研制出一套高精密和低成本的精密工作台 是精密技术的趋势.宏微双重驱动精密工作台可以 实现大行程、高精度的要求.其中宏动部分由交流伺 服电机驱动滚珠丝杠来实现. 滚珠丝杠传动是传统 的精密驱动方式, 技术已经相当成熟, 成本低. 但宏 动进给系统中的一些非线性因素,如滚珠丝杠螺母 副间隙存在、弹性联轴器的变形、导轨摩擦等, 对微 运动特性的影响非常明显, 制约了工作台运动精度 和定位精度的进一步提高, 因而研究滚珠丝杠传动 工作台的微定位特性显得尤为重要. 1 滚珠丝杠传动系统 1. 1 滚珠丝杠传动系统宏动部分 本研究的精密工作台宏动部分采用松下公司的 交流伺服电动机 MSMD012PIU、交流伺服驱动器 MADDT 125003以及增量式脉冲编码器组成的半 闭环伺服系统.精密工作台伺服系统原理如图 1所 示.由于工作台的行程范围相对较小,采用的传动方 式是:交流伺服电动机驱动金属缝隙联轴器,金属缝 隙联轴器直接与滚珠丝杠螺母机构联接, 滚珠丝杠 驱动工作台运动. 宏动部分系统主要有: 1)工作台与 光栅测量装置组成的控制对象及位置测量系统; 2) 基于 FPGA 的运动控制系统, 由电机控制模块、光 栅计数模块、与上位机通信的数据输入/输出接口等 组成. 图 1 滚珠丝杠传动工作台伺服系统原理图 宏动部件的相关参数如下: 工作台的行程, 28 mm;工作台的速度范围, 0. 006~ 25 mm/ s; 滚珠丝 杠的导程, 2 mm;增量式编码器, 2 500线.驱动器内 部采用了四倍频技术,故其脉冲当量为 360 / 10 000 = 0. 036 , 因而该工作台的理论精度可达 0. 2 m. 光栅测量系统中, 光栅尺栅距为 1. 667 m .为了提 高光栅分辨精度, 光栅信号经过四细分辨向电路的 方案,当光栅刻线密度为 600 线/ mm 时, 反馈检测 分辨率为 0. 417 m . 1. 2 滚珠丝杠传动系统的特点 滚珠丝杠传动效率高,摩擦小,在伺服控制系统 中采用滚动螺旋传动,不仅提高传动效率,而且可以 减小启动力矩、颤动及滞后时间,但传动系统的刚度 不高,尤其细长的滚珠丝杠更是刚度的薄弱环节. 起 动和制动时能量的一部分要消耗在克服中间环节的 弹性变形上,弹性变形使系统的控制难度增加,伺服 性能下降 [ 2] . 滚珠丝杠传动精度高, 大多数精密系统常采用 这种传动方式, 但进给系统的滚珠丝杠螺母副的间 隙、导轨副摩擦以及联轴器弹性和微小振动等因素 影响着它的传动特性, 由此限制了工作台定位精度 的提高. 1. 3 滚珠丝杠传动系统光栅检测部分 利用光栅的莫尔条纹测量位移,需要 2块光栅: 指示光栅和标尺光栅.指示光栅与运动件连在一起, 并与运动件一起运动, 光源发出的光线经透镜后成 为平行光束,垂直投向标尺光栅.而 2块光栅迭合时 就形成了莫尔条纹.光栅测量实质上就是读取相应 的栅线数.光电接收元件直接接收由标尺光栅和指 示光栅所形成的莫尔条纹信号. 光电元件用来感测 随主光栅的移动而产生的莫尔条纹的光强变化, 当 2块光栅相对移动时, 可以观测到莫尔条纹的光强 变化:光栅每移动一个栅距,莫尔条纹便走过一个条 纹间距,电压输出正好经历一个正弦变