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第五章 传感器技术及机械量检测 第一节 传感器技术概述 一、传感器的定义及分类 凡接受外界刺激并能产生输出信号，即可定义为传感器。传感器就是用来对所测的量产生响应并提供可用的电信号的器件，即把输入信号变成不同形式输出信号的装置，如麦克风、拾音器、扩音机、光电管、门铃等。传感器的作用是接受外界信息，并将其变为信号。传感器用来代替人的五感，即：视觉、听觉、嗅觉、味觉和触觉。人用来 取得这些感觉的器官是：眼、耳、鼻、舌和皮肤。 传感器按能量变换的功能可分为两大类：物理传感器(包括温度传感器、压力传感器、光电传感器、磁传感器、压电传感器、光纤传感器、流量传感器、声表面波传感器、半导体致冷器)和化学传感器(包括气体传感器、湿度传感器、离子传感器)。 根据传感器的工作原理不同，一般又可以分为物性型传感器和结构型传感器两种。物性型传感器是利用一些材料的物理特性的变化来实现检测的。物性型传感器又称为固体传感器，具有体积小、反应速度快、寿命长等优点。目前利用半导体集成电路工艺技术，将敏感器件与外围电路集成在一起，构成所谓集成传感器，它是目前传感器研究开发最有前途的一种。结构型传感器是利用弹性管、双金属片、电感、电容器等结构元件进行测量的，如气压表头就是一种结构型传感器。 传感器根据输出信号的分类表 非电量型 电量 二值型 模拟型 数字型 有接点型（微动开关、接触开关、行程开关） 无接点型（光电开关、接近开关） 电阻型（电位器、电阻应变片） 电压、电流型（热电偶） 电感、电容型（可变电容） 计数型（二值型+计数器） 代码型（旋转编码器） 传感器 传感器按输出信号分类如表传感器作为信号的变换器，其输出信号原则上是任意类型的，既可以是电量型的，又可以是非电量型的。但在机电一体化设备中，对输出信号为非电量的传感器，由于信号不便于处理而不予采用。 二、传感器的转换原理 传感器的作用是接受外界信息，并将其变成信号输出。因此，如果某种材料(半导体材料)受外界加热，致使这种材料性质发生变化(电阻、电导发生变化)，通过检测电阻变化量，就可以知道对应的温度；也就是说，这种材料具有将热转换成电的功能，人们就利用这种热—电转换原理来制造热敏电阻传感器等。表5—3列出了比较常见的几种现象之间相互转换原理。 (一)光—电转换 入射光照射到PN结上时，使PN结的正向压降发生变化，利用这个特性制作光敏二极管和光敏三极管，使光转换为电压变量。同样，当光照射到半导体材料上时，使电阻发生变化，它将光转换为半导体材料的电阻(或电导)变量，如图所示。 (二)热—电阻转换 将半导体材料或导体加热或冷却，使它的电阻发生变化，应用这个效应制作热敏电阻。它将热转换为电阻变量，如图所示。 光电阻转换图 光电转换 光—电转换 热电阻转换 (三)力—电压转换 外力作用在电阻应变片上，组成电桥的四个电阻的阻值发生变化，R1、R2电阻增大，而电阻R3、R4，阻值减少，使电桥失去平衡，有信号输出；输出电压与压力呈线性关系。应用力—电压转换原理制作压力传感器，其线路图如图5—3所示 (四)力—电荷转换 外力作用在压电晶体(铌酸锂、石英晶体等)上时，使其表面产生电荷或电压变化。根 据这个原理制作压电传感器，它将应力转换成电荷Q或电压U变量，如图5—4所示。 力电压转换 压电转换 (五)磁—电转换 线圈内磁芯作上下移动，磁路中磁阻发生变化，利用这个效应制作磁阻传感器。它将磁 转换为交流电压的变化，如图5—5所示。 电容传感器是由介质及被介质所分开的两个电极组成的，变化电极间的距离或者改变两 极间的介质都可引起电容量的变化。电容传感器将所测变量转换为电容变量，如图5—6所示。 (六)气体—电阻转换 氧化物半导体材料，如Sn02、ZnO、Fe203等，当它接触气体时，使其表面(或体内) 电阻变化，如图5—7所示。利用这种特性 磁阻转换 电容转换 制造各种气体传感器，用来检测一些气体，它广 泛用于矿井、工业、环保等领域。它将气体转换为电信号输出，实现了气—电转换。 (七)温度—电阻转换 半导体陶瓷(MgCr204—Ti02)材料或多孔性绝缘薄膜Al303(SiO2)制作在衬底材料上，如图5—8所示，当它接触湿度环境时，吸附水汽，使其电阻发生变化；利用这种特性制作湿度传感器。它将湿度转化为电信号输出，实现了湿度—电阻转换。 气体-电阻转换 温度—电阻转换 三、几种主要传感器工作原理 (一)光传感器 根据光生伏特效应，制造光敏二