薄膜厚度测试20161202讲述.pptx

李凡 薄膜厚度的测量 什么是薄膜 薄膜是不同于其他物态（固液气、等离子）的一种新的凝聚态，物质的第五态。薄膜就是薄层材料，分为： 气体薄膜 液体薄膜 固体薄膜 薄膜厚度测量的意义 由于薄膜的“尺寸效应”的关系，薄膜的厚度不同，性质会有所变化。 薄膜的电阻 霍尔系数 光反射率等 为了更好地研究物质结构及性能，我们希望对各种膜厚的测量和控制提供更为灵敏和准确的手段。 内容提要 薄膜测量方法的分类 机械法------台阶仪 电学法-------晶振 光学法-------椭偏仪 薄膜测量方法 膜厚检查方法 机械法 电学法 光学法 称量法 机械探针法---台阶仪 光学机械法 磨角染色测微法 磨角电探针法 线、面电阻法 交流电桥法 晶体振荡---石英振频法 电子射线法 干涉法 X光法 偏光法 全息法 不同测量方法定义的膜厚 台阶仪、石英晶振、椭偏仪这三种测量方法测得的薄膜厚度，分别属于形状膜厚dT ，质量膜厚dM ，物性膜厚dP。 G：实际表面 P：平均表面 SS：基片表面 ST：形状表面，即平均表面 SM：质量等价表面 SP：物性等价表面 dT：形状膜厚，SS和ST面之间的距离 dM：质量膜厚，SS和SM面之间的距离 dP：物性膜厚，SS和SP面之间的距离 dT≥dM≥dP 台阶仪测量原理 形状薄膜测厚法 台阶法（触针法）：这是将表面光洁度测量移用与薄膜厚度测量的一种方法。 台阶仪测量原理 测量具体过程：金刚石触针——表面上移动——触针跳跃运动——高度的变化由位移传感器转变成磁通量信号——转变成电信号——进行读数或由记录仪画出表面轮廓曲线。 ? 膜厚测量时，需薄膜样品上薄膜的相邻部位完全无膜，形成台阶(两种方法：遮盖、腐蚀)。当触针横扫过该台阶时，就能通过位移传感器显示出这两部分之间的高度差，从而得到形状薄膜值dT。 Dektak?XT 探针尖半径 (Stylus)：2.0?μm, 0.7?μm 厚度测量范围 (Vertical scan range)：?up to?1 mm 探针作用力(Force)：1?~ 15 mg 扫描长度 (Scan length)：50?μm?~ 55 mm 视场范围(Field of view)：1?~ 4 mm 台阶高度重复性(Step height repeatability)：< 5 ? 垂直方向分辨率(Vertical resolution)：1 ?? (for?6.55?mm measurement range) 测量样品最大尺寸(Sample compatible)：150 mm sandpaper roughness? 优点 缺点 迅速测定薄膜的厚度及分布； 可靠直观； 具有相当的精度。 不能记录表面上比探针直径小的窄裂缝、凹陷； 由于触针的尖端直径很小，易将薄膜划伤、损坏。 使用范围 应用于较高硬度的薄膜。面对柔软薄膜则必须采用较轻质量、较大直径的触针，才能不使薄膜划伤和避免因膜材粘附在触针尖上而形成误差。 台阶仪测量膜厚的优缺点 石英晶体振荡法 测量原理：基于石英晶体的振荡频率随其质量而变化的特性。石英晶体具有压电效应，利用该特性可制成高Q值的电子振荡器。 其谐振频率f与晶体厚度t关系 v是在厚度t方向上波长为λ 的弹性横波的传播速度 Gq为石英晶体的切变模量；ρq 为石英晶体的密度，约2.65 g/cm3 靶盘旋转密封装置 优点 缺点 测量电路简单，能在薄膜沉积过程中连续测量膜厚和沉积速率； 还可以通过适当的反馈电路和沉积源的电源相连，实现沉积速率的自动控制和用电控挡板配合实现薄膜的终点控制； 测量灵敏度高，可达10*10-9g.cm-2.Hz-1。对应一般材料膜厚控制精度可达10-2nm量级 要用石英晶体振荡法监控膜厚, 首先要做实验确定每种膜料的工具因子，相同工艺下，工具因子也不一定一致； 质量分布不均匀时，测量会有误差。 使用范围 用该方法监控制备的增透膜光谱性能比单独用光电极值法监控制备的更接近理论设计结果。晶控仪既可以较稳定地控制薄膜的折射率, 又有很高的膜厚控制精度, 从而使薄膜的光学性能得到很好的控制.另外, 由于石英晶体振荡法监控的是薄膜的物理厚度, 所以可以监控任意厚度的膜层, 特别适用于各种非规整膜系的厚度控制.为了保证晶控仪的监控精度, 石英晶振片在沉积了一定厚度的薄膜后(石英晶控仪会显示)就要更换或清洗. 石英振频法测量膜厚的优缺点 椭偏仪测量膜厚 光学基础 偏振光（ polarized light ）：光的振动面只限于某一固定方向的，叫做平面偏振光或线偏振光。 椭圆偏振光：指光的电场方向或光矢量末端在垂直于传播方向的平面上描绘出的轨迹一般呈椭圆形。 椭圆偏振光的获取