半导体材料的过去与未来.ppt

半导体材料的过去、现在和将来王占国（中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室） 提纲 一、半导体材料－现代信息社会的支柱 二、什么是半导体材料？ 三、硅单晶和外延材料发展现状与趋势 四、GaAs和InP单晶材料 五、宽带隙半导体材料与器件 六、低维半导体材料 七、小结 一、半导体材料－现代信息社会的基础 ? 硅单晶材料和晶体管的发明,硅集成电路的研制成功,导致了电子工业革命。 ? 光学纤维材料和GaAs半导体激光器发明使人类进入光纤通信和高速、宽带信息网的时代。 ? 超晶格概念的提出，MBE、MOCVD等生长技术发展、完善与进步以及超晶格、量子阱材料的研制成功，使半导体器件的设计思想由“杂质工程” 发展到“电学和光学性质可剪裁的能带工程”，为科学家提供了广阔地创新空间。 半导体材料－现代信息社会的基础 ? 半导体纳米科学技术的发展和应用,将使人们从原子、分子或纳米尺度的水平上控制和制造功能强大、性能优越的人工微结构材料和基于它的器件和电路,极有可能触发新的技术革命，彻底改变人类的生产和生活方式，也必将改变世界经济、政治格局和战争的对抗形式。 ? 总之，半导体材料的发展和应用，将对提高我国人民的生活质量，国民经济建设和国家安全等至关重要的领域产生巨大的影响。 二、什么是半导体材料？ 2.1 物质存在的形式是多种多样的，如固体、液体、气体、等离子体等。 ? 通常把导电、传热性能差的固体材料，如陶瓷、琥珀、玻璃和塑料等称为绝缘体； ? 将导电、导热良好的金属，如金、银、铜、铝等固体材料称为导体； ? 而将性质介于上述二者之间的材料称之为半导体。半导体材料发现得最晚，直到20世纪材料的提纯技术提高后，半导体的存在才被真正的认可。 什么是半导体材料？ 2.2 半导体的发现 ? 英国人法拉第（M.Faraday;1791-1867）于1833年发现硫化银（AgS）的电阻随温度的上升而降低，与金属的电阻随温度的变化相反，这是半导体性质的首次发现。随后， ? 法国的贝克勒尔（A.E.Becquerel;1820-1891）于1839年发现半导体与电解质形成的结，在光照下产生一个电压，即光生伏特效应。 ? 德国的布劳恩(F.Braun;1850-1918)于1874年观察到某些硫化物的电导率与所加电场的方向有关，即半导体的整流效应。同年，A.Schuster 又发现了铜与氧化铜的整流效应。 ? 英国的史密斯（W.Smith）于1873年发现硒晶体在光照下电阻降低的光电导效应。 上述半导体的四个特征是在1947.12月晶体管发明后，由贝尔实验室的 G.Pearson 和 W.Brattain 所总结的。 ? 半导体的这种特征在1880年以前就被一一发现，但半导体这个名词大概到1911年才被J.Konigsberger和I.Weiss 首次使用。因为这之前，上述这些特性究竟是半导体本身所固有的呢？还是外来杂质，半导体表面性质或半导体与金属接触导致的，在材料纯度不高的情况下，很难说清。如今天家喻户晓的硅，直到上世纪的40年代才被确定为半导体！ 什么是半导体材料？ 2.3 半导体的早期应用 什么是半导体材料？ ? 半导体的第一个应用是作为无线电波的检波器，它是利用半导体的整流特性，俗称猫胡子检波器，就是现在所说的点接触二极管。1904年印度物理学家J.Bose使用半导体的整流功能来检测电磁波，取得了成功。 ? 除了猫胡子检波器外，半导体早期的应用还包括整流器、光伏电池和红外光探测器。 ? 1907-1927年间，美国的物理学家先后发展了晶体整流器、硒整流器和氧化亚铜整流器。 ? 1931年,Lange 和 Bergmann 研制成功可使用的硒光伏电池。 ? 1932年德国先后研制成功硫化铅、硒化铅和碲化铅等半导体红外探测器，在二次世界大战中，用于侦探飞机和船舰。红外探测器在现代战争中仍扮演重要角色。 2.4 固体的能带-允许能带和禁带 什么是半导体材料？ ? 固体是由很多原子组成的，每个原子轨道上有很多电子，最外层的电子叫做价电子。对孤立的原子，原子被此之间没有作用，虽说这些原子当中的电子有着不同的能级，但这些孤立原子分立的电子能级都是相同的。 ? 当N个原子之间的距离逐渐接近结合成固体时，这些原子里的电子则不仅只受到原来原子的作用，而且也要受到周围其它原子的影响，愈是外层的电子，运动轨道重叠愈大，受到的影响也越大；这时，相应于孤立原子中的每个电子能级将分裂成N个能级。由于固体中的原子数N很大，分离出的电子能级将是十分密集的，称之为允许能带。因为这些孤立原子的每个电子能级都会分裂成为能带，在这些能带之间，存在着电子不能具有的能量区域，成为禁带或