ECD烧结炉拉温仪现场测试报告.pdf

ECD 烧结炉拉温仪客户现场测温报告 一，发电原理：光电效应 光照射到金属上，金属内部的电子会被光子激发出来从而形成电流，即光产生电。 不懂请参考高三物理光量子理论。 由于半导体 PN 结器件在阳光下的光电转换效率最高，所以把这类光伏器件称为 太阳能电池。 二，太阳能电池生产流程： 硅片到多晶硅芯片制造工艺流程： 减反射膜设备目的：为了减少入反射损失，要在硅片表面覆盖一层减反射膜，工 艺采用真空镀膜法等。 烧结目的：对丝印后硅片表面浆料进行烘干，去除浆料中有质粘接剂，铝背场及 珊线烧结，即将电池芯片烧结与镍或铜的底板上。 我们的拉温仪可以用在测试真空镀膜机镀膜时的温度和烧结时的温度。 烧结炉 ECD 拉温仪现场温度测试实例 测试时间：2014 年 3 月 4日 测试地点：浙江海宁县某公司 4 厂 5 厂 加热方式：红外线加热 烧结原理 印刷了浆料的硅片经过烘干排焦过程后使浆料中的大部分有机溶剂挥发，膜层收 缩为固状物紧密粘附在硅片上，这时可视为金属电极材料和硅片接触在一起。所 谓的烧结过程是要使电极和硅片本身形成欧姆接触，其原理为当电极里金属材料 和半导体单晶硅加热到共晶温度时,单晶硅原子以一定比例融入到熔融的合金电 极材料中.单晶硅原子融入到电极金属中的整个过程一般只需要几秒钟的时间。 融入单晶硅原子数目取决于合金温度和电极材料的体积，烧结合金温度越高，电 极金属材料体积越大，则融入的硅原子数目就越多，这时的合金状态被称为晶体 电极金属的合金系统.如果此时的温度降低,系统开始冷却形成再结晶层,这时原 先溶入到电极金属材料中的硅原子重新以固态形式结晶出来,也就是在金属和晶 体接触界面上生长出一层外延层。如果外延层内含有足够的量的与原先晶体材料 导电类型相同的杂质成分，就获得了用合金法工艺形成的欧姆接触；如果在结晶 层含有足够量的与原先晶体材料导电类型异型的杂质成分就获得了用合金工艺 形成的 P-N 结。 烧结经历的过程目的： 1，烘干排焦一 在网带的上、下都装有加热带，由温控仪控制其温度。目的是将印刷有浆料硅片 烘干，并使浆料内绝大部分焦油挥发出来。如果温度设置不合理，不能使大部分 焦油从浆料中挥发出来，剩下的焦油在进入下一区域时会对烧结的效果影响很严 重，对转换率有高达 0.2%的影响。为了保证设备安全，在每个区域都设有 2 个 热电偶，一个用于温度控制，一个用于过温保护。 2，烘干排焦二 为了减少腔室内热量的损失，在设备强势内部的四周安装上隔热板，并在腔室外 的两边装上了铝的隔热反射板，让整个腔室始终保持一个稳定的温度，有利于工 艺的稳步进行。对流器：,为了能让从浆料中挥发的焦油全部从抽风管道中抽走， 设计了一个对流加热器。从烘干区上部的对流加热器中吹出温度受控的气体，吹 到腔室中，在从烘干区的两头将气体抽出，保证从硅片挥发出来的焦油被对流加 热器吹出的热气带出腔室内，而不会导致硅片挥发出来的热焦油在机器出口处冷 凝而回流到设备里。对流盒子内置在加热盒子里，经过过滤的大气被热空气风扇 吸入到一个温度可控的加热器中，最后进入到腔室内。但为保证安全操作，如果 吸入的空气总量在增加，相应离开的总量必须是合适的。 3，快速加热烧结 根据工艺要求，需要此腔室的灯管能提供很高（高到 1000℃）的温度，并且能 在高温下工作。一般用石英玻璃管加热器。此种设备用气流把快速加热箱分成 4 独立的加热系统，以保证每个腔室温度的独立性，可形成一个一个的温度阶梯， 从而使最后一个温区的温度在很短时间达到一个很高的温度。这样设计还可以是 每个隔离区域横向位置温度的不均匀性在一个很小的范围内。在此腔室内每个抽 风口都特别设计了一个带加热装置的文氏阀，能保证腔室内产生的废气流很快离 开腔室，避免在烧文氏阀结温区废气对硅片的污染，还能让产生的废气流不在管 道口处冷凝。对于温度的测试，2个热偶被安装在加热区域。一个用于温度控制， 一个用于超温报警。最后一个温区中安装了 2 个热偶，于皮带正上方 20mm 处， 他们反映了形成欧姆接触的共晶温度的真实值，他们的值可以在加热菜单看到， 可以直接了解内部的实际温度。为了能让温度急剧下降，在高温区出口处的侧壁、 上下部分都装有水冷系统。为了保证大部分热量都辐射到腔室内，在全部的加热 盒子周围都覆盖上保温层，在外层还覆盖有双层的铝反射板，有效延长了灯管的 使用寿命。 4，冷却 冷却盒子是一个可循环的盒子，为了冷却电池片和皮带，运送冷却水的管道安装 在皮带的上部和下部。冷却风扇分别安装在循环水管道的上方和下方。风速可以 调整，上部的风扇将