溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜之特性分析与探讨.PDFVIP

溶膠-凝膠法製備氧化鋅薄膜之特性分析與探討 *林鴻達(研究生) 白世南 建國科技大學電子工程系暨研究所 (NSC 96-2221-E-270 -003) 本研究是使用溶膠-凝膠法在矽基板上製備氧化鋅薄膜，利用旋轉塗佈的方式，將凝膠塗佈在矽基板上，再經由 適當的熱處理以形成結晶特性良好的氧化鋅薄膜。本研究藉由改變溶膠溶液濃度、熱退火等製程條件，探討溶 膠-凝膠法製備的氧化鋅薄膜結構特性的變化情形。經由實驗發現，薄膜在經由熱處理後，薄膜表面的平坦特性 比未經過熱處理的平坦特性佳：同時，當溶膠濃度慢慢增大時，氧化鋅薄膜的厚度也會隨之慢慢增厚；此外， 以溶膠-凝膠法製備氧化鋅薄膜時，溶膠溶液必須在一適當的濃度下，才能得到最佳的結晶特???。 關鍵字：溶膠-凝膠法、氧化鋅薄膜、熱處理、表面粗糙度、結晶形態 o 1.前言 放入醋酸鋅、乙醇胺和乙醇的混合溶液中，在 80 C 下攪拌 1 小時，然後放置 3 天。再以旋轉塗佈的方式將混合好的凝膠 氧化鋅是一種用途相當廣泛的材料，也是一種氧化物半 溶液塗佈在矽基板上，旋轉塗佈的條件為每分鐘 3000 轉， 導體，具有高的熔點(1975?C)和熱穩定，在室溫下具有較寬 並持續 20 秒，最後再加熱 300oC 持溫 10 分鐘，這些步驟重 的直接能隙(3.37eV)與高的激子結合能(60meV)，因此在室溫 複 6 次。之後，將旋鍍完成的樣品進行 1 小時的熱退火，熱 下的發光效率頗佳，可以作為短波長發光元件或是應用在紫 退火的條件為 750oC 持溫 1 小時。 外光雷射。此外，氧化鋅薄膜具有顯著的c軸優先成長取 氧化鋅薄膜的特性分析，以多功能原子力顯微鏡(AFM?) 向及透明性，而且具有明顯的壓電及壓光效應，因此 探討薄膜表面的粗糙度特性；以 X 光能量散佈光譜儀(EDS) 被廣泛地應用於聲電及聲光元件。氧化鋅薄膜的表面 分 析氧 化鋅 薄膜 的成 分；以場 發射 掃描 式電 子顯 微鏡 織構化或坑洞化的表面型態對於光學元件(如：太陽能 ?(FE-SEM)?來觀察氧化鋅薄膜的表面形貌；以高解析度 X 光 電池)有強化陷光(enhanced light trapping)的位能應 繞射儀?(HRXRD)?