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－JEOL　JED-2200F－ （EDX　or　EDS） 目录 JEOL　JED-2200F 　１．　EDX是什么？ 　２．　分析原理 　３．　分析方法与数据的读取方法 　　　　　　３－（１）　点分析　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　３－（２）　面分析 　　　　　　３－（３）　线分析 　　　　　　３－（４）　元素分布　 　４．　EDX的检出界限 　５．　EDX可进行空间分解 　６．　总结　 JEOL　JED-2200F 　１．　EDX是什么？ 　２．　分析原理 　３．　分析方法与数据的读取方法 　　　　　　３－（１）　点分析　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　３－（２）　面分析 　　　　　　３－（３）　线分析 　　　　　　３－（４）　元素分布　 　４．　EDX的检出界限 　５．　EDX可进行空间分解 　６．　总结　 目录 １．EDX（EDS）是什么？ JEOL　JED-2200F EDX　 　Energy　Dispersive　X-ray　Spectrometry　 （能量分散型X线分光法） 检出由于电子光线的照射产生的特性X线，实行元素 定性，定量。一般多用于SEM，是一种从原子番号5号 的B（硼）到原子番号92号的U（铀）均可实行元素的定 性定量的分析的装置。 JEOL　JED-2200F 元素周期表 １．EDX（EDS）是什么？ JEOL　JED-2200F 定性分析 通过曲线最顶端的位置（X轴），能够得知样 品含有什么样的元素。 定量分析 　　　通过定性分析了解含有的元素之后，观察曲线 强度（Y轴）可得知以全部成分为100%，所含元素的比 例。 元素分布图 　　　可在特定范围内，对其面内何处有何元素进行 分析，形成图像。 JEOL　JED-2200F 目录 　１．　EDX是什么？ 　２．　分析原理 　３．　分析方法与数据的读取方法 　　　　　　３－（１）　点分析　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　３－（２）　面分析 　　　　　　３－（３）　线分析 　　　　　　３－（４）　元素分布　 　４．　EDX的检出界限 　５．　EDX可进行空间分解 　６．　总结　 ２．分析原理 JEOL　JED-2200F 试料台 样品 装置原理 ①电子光束照射到试料 ②试料表面存在的元素， 产生相应特性的X线 ③EDX检出器检出特性X线 ④表示出相应的光谱 检出器 特性X线 电子光束 ２．分析原理 JEOL　JED-2200F 原子 在试料表面的原子呈现一个个 的状态时，可观察特性X线的发 生过程。 ２．分析原理 JEOL　JED-2200F 特性X线的发生原理 原子核 电子光束 特性X线 K壳 L壳 M壳 ：　电子 K壳的电子被弹出 　　　　　　　↓ 外侧一圈的L壳的电子朝内移动 　　　　　　　↓ 产生特性X线　Ｋα ２．分析原理 JEOL　JED-2200F ＳｉＫα顶端的解说 　向Ｓｉ原子照射电子光束 　　　　　　　　　↓ 　Ｋ壳的电子被弹出 　　　　　　　　　↓ 　外一圈的L壳上电子朝内移动 　　　　　　　　　↓ 　移动时产生特性Ｘ线Ｓｉ－Ｋα 　　　　　　　　　↓ 　产生的特性X线经由EDX检出器被检出，表示出对应光谱 JEOL　JED-2200F 特性Ｘ线能量值 JEOL　JED-2200F 目录 　１．　EDX是什么？ 　２．　分析原理 　３．　分析方法与数据的读取方法 　　　　　　３－（１）　点分析　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　３－（２）　面分析 　　　　　　３－（３）　线分析 　　　　　　３－（４）　元素分布　 　４．　EDX的检出界限 　５．　EDX可进行空间分解 　６．　总结　 ３．分析方法与数据的读取方法 JEOL　JED-2200F 根据想得知的具体情况，可改变相应的分析方法， 或者组合使用多个方法。 Analysis　Program Mapping　Program JEOL　JED-2200F ３－（１）　点分析 　　对样品某个点进行分析。 　　得出定性（光谱）、定量分析结果。　　　 　　　 ３．分析方法与数据的读取方法 JEOL　JED-2200F ３－（２）　面分析 　　对样品的某个范围进行扫描，分析。 　　得出面内的平均结果。 　　得出定性（光谱）、定量分析结果。　 　　　 ３．分析方法与数据的读取方法 JEOL　JED-2200F 光谱（定性） Y轴表示特性X线的数值。 X轴表示特性X线的能量值。单位为keV 重点 　①特定的元素，所出现的峰值位置也 为固定的。 　②Na后的元素有多个能量值。故会出 现多个峰值。 　③能量值较近，会有多个