扫描电镜第2期理论知识培训.ppt

扫描电镜scanning electron microscope ，SEM第二期理论知识培训;培训概况;培训概况;理论知识培训内容;一、扫描电镜工作原理;扫描电镜工作原理;主要物理信号;信号收集及显示系统;SEM中的三种主要信号;各种信号的深度和区域大小;二次电子像; Edge effect (secondary electron emission differing with surface condition).;背散射电子像;;二、扫描电镜的构造;电子光学系统;电子枪 Electron Gun;电磁透镜 Electron Lenses;三个聚光镜;扫描线圈 Scanning coils;样品室 Sample chamber;信号的收集和图象显示系统;真空系统 Vacuum;（1）．放大倍数 荧光屏上的扫描振幅 电子束在样品上的扫描振幅 放大倍数与扫描面积的关系： (若荧光屏画面面积为10×10cm2) 放大倍数 扫描面积 10× (1cm)2 100× (1mm)2 1,000× (100μm)2 10,000× (10μm)2 100,000× (1μm)2 ;* ;;* ;四、常规SEI观察样品的制备;样品制备;一般金属层的厚度在10nm，不能太厚。 镀层太厚就可能会盖住样品表面的细微 ，得不到样品表面的真实信息。 假如样品镀层太薄，对于样品表面粗糙的样品，不容易获得连续均匀的镀层，容易形成岛状结构，从而掩盖样品的真实表面。 ;离子溅射也是常用的表面镀膜方法 其溅射原理见图。 与真空蒸发相比，当金属薄膜的厚度相同时，利用离子溅射法形成的金属膜具有粒子形状小，岛状结构小的特点。 ;对于其它导电性好的样品如金属，合金以及半导体材料，薄膜样品基本不需要进行样品处理，就可以直接观察。只要注意几何尺寸上的要求。但要求样品表面清洁，如果被污染容易产生荷电现象。 对于需要进行元素组成分析的样品，一般在表面蒸发轻元素作为导电层如：金属铝和碳薄膜层。 对于粉体样品可以直接固定在导电胶带上。 ;电镜的使用技巧及注意事项：;;;; 5、所有试样检验前须在超声波清洗仪里用酒精清洗，清洗完毕后用风机吹干； 6、处理过的样品在放入样品仓前用吸耳球反复吹扫表面，吸耳球吹不掉的即可放入样品仓； 7、试样高??以10mm以下为宜，太高的样品因信号传输受阻影响成像效果； 8、不能检测磁性样品，磁性样品对电子束有影响，无法成像，可实现对其消磁