耐磨涂层_毕业论文.doc

山东大学硕士学位论文 PAGE  PAGE IV 目　录  TOC \o "1-3" \h \z  HYPERLINK \l "_Toc135972746" 摘　要  PAGEREF _Toc135972746 \h I  HYPERLINK \l "_Toc135972747" ABSTRACT  PAGEREF _Toc135972747 \h III  HYPERLINK \l "_Toc135972748" 第一章　绪　论  PAGEREF _Toc135972748 \h 1  HYPERLINK \l "_Toc135972749" 1.1　选题的意义  PAGEREF _Toc135972749 \h 1  HYPERLINK \l "_Toc135972750" 1.2　耐磨涂层的制备技术  PAGEREF _Toc135972750 \h 2  HYPERLINK \l "_Toc135972751" 1.2.1　化学气相沉积  PAGEREF _Toc135972751 \h 2  HYPERLINK \l "_Toc135972752" 1.2.2　物理气相沉积  PAGEREF _Toc135972752 \h 2  HYPERLINK \l "_Toc135972753" 1.3　耐磨涂层的发展现状  PAGEREF _Toc135972753 \h 5  HYPERLINK \l "_Toc135972754" 1.3.1　硬涂层  PAGEREF _Toc135972754 \h 5  HYPERLINK \l "_Toc135972755" 1.3.2　软涂层  PAGEREF _Toc135972755 \h 7  HYPERLINK \l "_Toc135972756" 1.3.3　硬软复合涂层  PAGEREF _Toc135972756 \h 9  HYPERLINK \l "_Toc135972757" 1.4　耐磨涂层的作用机理和影响因素  PAGEREF _Toc135972757 \h 9  HYPERLINK \l "_Toc135972758" 1.4.1　刀具磨损的原因  PAGEREF _Toc135972758 \h 9  HYPERLINK \l "_Toc135972759" 1.4.2　耐磨涂层的作用机理  PAGEREF _Toc135972759 \h 9  HYPERLINK \l "_Toc135972760" 1.4.3　影响涂层刀具性能的因素  PAGEREF _Toc135972760 \h 10  HYPERLINK \l "_Toc135972761" 1.5　本课题的背景和由来  PAGEREF _Toc135972761 \h 11  HYPERLINK \l "_Toc135972762" 1.6　本课题的研究内容  PAGEREF _Toc135972762 \h 11  HYPERLINK \l "_Toc135972763" 第二章　实验方法及原理  PAGEREF _Toc135972763 \h 13  HYPERLINK \l "_Toc135972764" 2.1　磁控溅射离子镀原理与设备  PAGEREF _Toc135972764 \h 13  HYPERLINK \l "_Toc135972765" 2.1.1　磁控溅射离子镀原理  PAGEREF _Toc135972765 \h 13  HYPERLINK \l "_Toc135972766" 2.1.2　磁控溅射离子镀偏置基体的伏安特性  PAGEREF _Toc135972766 \h 13  HYPERLINK \l "_Toc135972767" 2.1.3　封闭场非平衡磁控溅射离子镀设备  PAGEREF _Toc135972767 \h 15  HYPERLINK \l "_Toc135972768" 2.2　涂层试样的制备  PAGEREF _Toc135972768 \h 16  HYPERLINK \l "_Toc135972769" 2.2.1　基体材料的选取与基体预处理  PAGEREF _Toc135972769 \h 16  HYPERLINK \l "_Toc135972770" 2.2.2　涂层沉积工艺设计  PAGEREF _