OLED有机材料线性蒸发镀膜系统研制-论文.docVIP

前言 毕业设计 设计题目OLED有机材料线性蒸发镀膜系统研制 学生姓名 学 号 专业班级 机设09-10班 指导教师 院系名称 机械与汽车工程学院 2013 年 6 月 6 日  OLED有机材料线性蒸发镀膜系统的研制 摘 要:随着太阳能电池的发展，对于其基板上有机材料膜层的要求越来越 越高。考虑到基板一般为柔性的，因此将其设计为卷绕式线性蒸发 镀膜机。卷绕式蒸发镀膜机主要有卷绕系统、线性蒸发源、抽气系 统、控制系统组成。本课题主要对前三个部分进行设计、计算、分 析。对于卷绕系统主要是进行机械结构的设计，然后通过ANSYS 软件对辊子、支撑架等进行受力分析。对于蒸发源主要是考虑到其 蒸发??率对膜厚的影响，然后对完成对其结构的设计，并用ANSYS 对其进行温度分布分析。对于抽气系统，主要是完成