HAD2258C型多功能数字式四探针测试仪教程.doc

PAGE  PAGE 13  HYPERLINK / 仪器在线/ HAD2258C型 多功能数字式四探针测试仪 技术使用说明书 2013.09.20版 北京恒奥德仪器仪表有限公司 目录 TOC \o 1-3 \h \u  HYPERLINK \l _Toc2165 第1章 概述  PAGEREF _Toc2165 1  HYPERLINK \l _Toc29867 第2章 技术参数  PAGEREF _Toc29867 1  HYPERLINK \l _Toc619 第3章 工作原理  PAGEREF _Toc619 2  HYPERLINK \l _Toc7734 第4章 结构特征  PAGEREF _Toc7734 4  HYPERLINK \l _Toc1824 第5章 使用方法  PAGEREF _Toc1824 4 附录1A …………………………………………………………………………7 附录1B …………………………………………………………………………7 附录1A ………………………………………………………………………11 附录2 ………………………………………………………………… ……12 HAD-C型四探针测试台 操作使用说明书…………………………………14 欢迎使用HAD2258C型多功能数字式四探针测试仪！ 由衷地感谢您加入本公司的用户队伍！ 概述 HAD2258C型多功能数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试导体、半导体材料电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准。 仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头、测试台等部分组成。 主机主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成。仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入；具有零位、满度自校功能；电压电流全自动转换量程；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪特赠设测试结果分类功能，最大分类10类。 探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头，也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。 测试台选配：一般四探针法测试电阻率/方阻配HAD-A或HAD-B或HAD-C或HAD-F型测试台。二探针法测试电阻率测试选HAD-K型测试台，也可选配HAD-D型测试台以测试半导体粉末电阻率，选配HAD-G型测试台测试橡塑材料电阻率。详见《不同半导体材料电阻率/方阻测试的四探针探头和测试台选配方法》。 仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。 技术参数 1. 测量范围、分辨率（括号内为拓展量程，可定制） 电 阻：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω, 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω （1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω, 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω） 电 阻 率：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω-cm 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω-cm （1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω-cm） 方块电阻：50.0×10-6 ～ 1.0×106 Ω/□ 分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×103 Ω/□ （5.0×10-6 ～ 100.0×103 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×103 Ω/□） 2. 材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定) 直 径： HAD-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm，手持方式不限 HAD-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限. 长(高)度： 测试台直接测试方式 H≤100mm, 手持方式不限. 3. 量程划分及误差等级 满度显示200.020.002.000200.020.002.000200.020.002.000常规量