光外差干涉相位检测技术.pdf

. 计量技术 1 9 9 5 澳 5 光外差干涉相位检测技 术 理 论与 实践 口. . . 曰曰. 口舀包 尤 政 , (清华 大 学精 仪 系 北京 1 0 0 0 8 4 ) 摘 要 本文介绍 了光外 差干涉技术 中最为关键的相位精密检 测技 术 , 简介了相位软件取值法 , 提 出了硬件取 值法的思想和 电路 原理图 , 最后的实验结果表明 , 其相位检 测精 度优 于 入八 0 0 0 。 关性 词 光外差干 涉 、 相 位检测 硬件取值法 , : 一 , 、 相位 其特 点在 于 第 探测 器 不需要 特 殊 一 绪 言 的线 性要求 ; 第 二 , 探 测器 的精确 响应 是不 重 以 前 用干 涉条 纹 图案 判断 制件 的表 面形 貌 要 的 ; 第三 , 两光 束 的振 幅 不需要 匹配 ; 第四 、 的方法 , 实际上 , 获得 的条 纹 图样 还不 能得 出 相 位 探 测 器 的 输 出模 拟 电压 直 接 正 比于 光 程 , 光 程差 图 (o P D 图 ) 而 是 显示 o P D 等 高 图以 差 。 代 之 , 一 旦得 到条 纹 图 , 为 求得 O P D 图就必 须 进 行繁 琐 费时 的处 理 。 光 外 差干 涉计 量技 术 完全相 反 , 它 是直 接 。 0 + , 测 量 参 考 波 面与 被测 波 面 间相 位 的一 种方 法 所 以 自然 存 在 着 高 的 位 相 分 辨 力 和 空 间分 辨 5 1 n . t + Z 介 O P D 力 , 而且 可 以进 行 动 态时 间研 究 , 其理 论分 辨 。 力可达 久/ 1 0 0 0 (久 为光 波 波长 ) 为 了适应 这 种 , 匹 技 术 的发 展 迫 切 需要 研制 与 之 相 配 的高 精 、 。 三 外 差干 涉相 位检 测 度 相 位检测 系 统和 检 测方 法 , 空