6.电子显微范例.ppt

操作特性 波谱仪（WDS） 能谱仪（EDS） 分析元素范围 Z≥4 ,Be-U Z≥11 Na-U 分辨率(识别相邻两谱峰的能力） 5eV (如BaTiO3) 145－150 eV 几何收集效率（接收到X射线与产生X射线比率） 改变， 0.2%（分光晶体、探测器、样品较远）（要求样品表面光滑） 2% （探测器离样品近） （样品要求较低） 量子效率（探测器x光子计数与进入光子之比） 较低， 30%（不适合低束流） 100% (2.5~15 keV) 探测极限 （能测出元素最小浓度） 0.01~0.1% 0.1~0.5% 6.4.5 波谱仪（WDS)与能谱仪（EDS)的比较 样品要求 平整，光滑 较粗糙表面也适用 分析速度 ? 10 min 2~3 min 谱失真 少 多 最小束斑直径 ~ 200 nm ~ 5 nm 对试样损伤 大 小 波谱仪和能谱仪的比较 波谱仪和能谱仪的比较 综上所述，波谱仪分析的元素范围广、探测极限小、分辨率高，适用于精确的定量分析。其缺点是要求试样表面平整光滑，分析速度较慢，需要用较大的束流，从而容易引起样品和镜筒的污染。 能谱仪虽然在分析元素范围、探测极限、分辨率等方面不如波谱仪，但其分析速度快，可用较小的束流和微细的电子束，对试样表面要求不如波谱仪那样严格，因此特别适合于与扫描电子显微镜配合使