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电子与固体物质的相互作用 随着扫描电镜、透射电镜、电子探针、俄歇电子能谱仪、X射线光电子能谱仪等现代分析仪器的发展，促进了电子、X光子等辐射粒子与物质相互作用的研究。本报告就电子与物质相互作用的基本物理过程，电子与物质相互作用产生的各种信号，这些信号的特点及其在电子显微分析中的应用作一些概要介绍。 1 电子散射 当一束聚焦电子束沿一定方向射入试样内，在原子库仑电场作用下，入射电子方向改变，称为散射。原子对电子的散射可分为弹性散射和非弹性散射。在弹性散射中，电子只改变方向，基本无能量的变化。在非弹性散射中，电子不但改变方向，能量也有不同程度的减小，转变为热、光、X射线和二次电子等。 为了定量地分析和研究电子的散射作用，需要引入散射截面的概念。一个电子被一个试样原子散射后偏转角等于或大于α角的几率可用原子散射截面σ(α)来度量，它可定义为电子被散射到等于或大于α角的几率除以垂直入射电子方向上单位面积的原子数。量纲为面积。可以将弹性散射和非弹性散射看成是相互独立的随机过程，原子散射截面是弹性散射截面与非弹性散射截面之和，即 σ(α)=σe(α)+ σi(α) （1） 式中 σ (α)——原子散射截面 σe(α)——原子的弹性散射截面； σi(α)——原子的非弹性散射截面。 原子对电子的散射又可分为：