等倾干涉法测量小孔径圆柱形腔特征长度 .pdfVIP

学兔兔 第32卷 第 10期 仪 器 仪 表 学 报 V01．32 NO．10 201 1年 l0月 Chinese Journal of Scientific Instrument 0ct．2011 等倾干涉法测量小孔径圆柱形腔特征长度木 张 凯 一，林 鸿 ，孙建平。，张金涛 ，李晓苇。 (1河北大学 保定 071002；2中国计量科学研究院 北京 100013) 摘 要：激光等倾干涉法是一种准确度较高的测量Fabry—Perot腔形式圆柱腔长的方法。对于一些需要进行小孔径腔体长度测 量的情况，采用等倾干涉法受到腔体孔径、激光发散角、入射角等各种条件的限制。基于激光等倾干涉原理，分析了腔体孔径、 激光发散角和倾斜角，聚焦透镜等对等倾干涉测量的影响，并计算分析了图像采集感光芯片最小的感光范围。计算和实验验证 结果表明：对于长度分别为65 1TIm、80 mln、130 inn和160 inm的圆柱共鸣腔，腔体光学孑L径最小半径为2．13 him；激光发散角 应小于0．8。；感光芯片的感光范围应大于5 mill；同时得到了激光倾斜角和发散角的对应关系。该分析为了用于定程圆柱声学 共鸣法准确测量Bohzmann常数的需要，同时可以为小孔径Fabry—Perot腔测量提供一些参考。 关键词：计量学；等倾干涉；小孑L径腔体；Fabry—Perot腔；精密测长；Bohzmann常数 中图分类号：TB942 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：140．3060 Measurement of small radius cylindrical resonator length using equal inclination interference method Zhang Kai 一，Lin Hong ，Sun Jianping。 Zhang Jintao ，Li Xiaowei ， ( Hebei University，Baoding 071002，China；2 National Institute ofMetrology，Beijing 100013，China) Abstract：The laser equal inclination interference is a high precision method for measuring the length of Fabry—Perot cylindrical cavities．However，if the radii of the cavities in question are small，then there are limitations to the meth— od．Such limiting factors include the inclination angle and divergence angle of the laser beam．This paper analyzes how the aforementioned factors，along with the converging lens，affect the measurement process，then provides a val— ue for the sensing area of the image sensing chip．Experiment and calculation results indicate that for cylindrical cav— ities wi