基于eM-Plant的晶圆重入加工自动组合装置仿真.pdfVIP

工业 自 DOI：10．3969／j．issn．1009-9492．2012．08．002 基于eM—Plant的晶圆重人加工 自动组合装置仿真 龚 倩 ，白丽平，伍乃骐 (广东工业大学机 电工程学院，广东广州 510006) 摘要：原子层沉积加]二是晶圆制造中典型的重人加T，在这个过程中，晶网需要在同一个模块中被加工多次，这使得整个系统 的调度变得很复杂。为此 ，基于eM—PIant系统仿真软件，建立了晶圆制造单臂 自动组合设备的模型，通过该模型模拟了晶圆重 人加1二调度过程，最终获得系统加工的节拍，为以后研究晶圆重人加T提供了一个有效方法。 关键词：晶圆制造；eM—Plant；仿真；自动组合设备 中图分类号：TP391．9 文献标识码：A 文章编号：1009—9492(2012)08—0007—04 eM —PlantBasedSimulationofClusterToolswithW afer ReentrantProcesses GONGQian。BAILi—ping，wuNai—qi (CollegeofMechanicalandElectronicEngineering，GuangdongUniversityofTechnology，Guangzhou5l0006，China) Abstract：Atomiclayerdeposition(ALD)isatypicalrevisitingprocessinwaferfabrication．Insuchprocesses，thewafersneedtovisit someprocessingmodulesanumberoftimes，whichmakestheschedulingofoverallsystem muchcomplicated．Soamodelofsingle—arm clusterforsemiconductorfabricationwasdeveloped byusingeM-Plant．Itisanew method basedonsimulationwhichcansolvethe problem ofscheduling．Withthissystem，theschedulingofwaferreentrantprocessesissimulated，andoptimalcycletimeoftheoverall system canbeobtained．Itisaneffectivemethodforresearcherstostudytheschedulingofclustertoolswithwaferreentrant． Keywords：semiconductorfabrication；eM—Plant；simulation；clustertools 0引言 1自动组合装置 目前，社会信息化和互联网正在对人类经济 一 个组合设备最多由六个加工模块 (Process． 和社会生活产生革命性影响，而半导体制造是互 ingModule，PM)、一个传输模块 (TransportMod— 联网和信息化的基础 ，其发展水平也是一个国家 ule，TM，通常 由单臂或双臂的机械手组成)、一 现代经济和高科技力量的重要象征 。而随着晶圆 个校准模块 (Aligner，AL)、一个冷却模块 直径的增大，传统批加工技术已不能满足蚀刻、 (Cool，CL)和两个真空锁 (LoadLock，LL)成 化学气相沉积和快速高温加工等工艺要求。因 径 向分布组成 。晶圆由真空锁装载，经校准模块 此 ，直径在200mm以上的晶圆通常采用 自动组合