基于集成参比电极的多参数水质监测微传感器阵列研制.pdfVIP

2011年 第3O卷 第 10期 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 99 基于集成参比电极的多参数水质监测微传感器阵列研制 张缓缓 ，刘 彬 ，金庆辉 ，刘咏松 (1．浙江理工大学 理学院。浙江 杭州 310018； 2．中国科学院 上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室，上海 200050) 摘 要：研究了一种基于MEMS工艺制备的集成微电极型传感器 ，并用电化学修饰方法将 Ag／AgC1参 比 电极集成在传感器上 ，用于水体中温度、电导率和氧化还原电位的测定。Pt温度传感器的电阻与温度的 线性关系良好 ，满足温度测量精度的需求 ；比较法确定电导率传感器的电极常数为2．723，可以对一般水 体的电导率进行测定 ；氧化还原电位传感器的标准曲线斜率为0．99733接近于理论值，表明它可以准确表 示水体的氧化还原电位值。 关键词：微机电系统技术；Ag／AgC1参比电极；集成微电极；水质监测 中图分类号 ：TP212．2 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2011)10-0099-03 R1～esearchl ancTIIaD■ri●cat-l●OU Otnmu-lt』i■-13aram et』er m l●Cr0SenS0r arraV ta8orwater qual’-ity· m oni·t·orin‘g 1baSed10n in‘te·grat·ed1 referenceelectrode ZHANGHuan—huan ，UUBin ，JINQing．hui，LIUYong—song (1．SchoolofSciences，Zh~iangSci-TechUniversity，Hangzhou310018，China； 2．StateKeyLaboratoryofTransducerTechnology，ShanghaiInstituteofMicrosystem and InformationTechnology，ChineseAcademyofSciences，Shanghai200050，China) Abstract：An integrated microelectrodetypesensorconsistingofAg／AgC1referenceelectrodeforsimultaneous measurementoftemperature，conductivityandoxidationreductionpotential(ORP)isfabricatedusingmicro— electro—mechanicalsystems(MEMS)technologyandelectrochemicalmodificationmethod．Theresistanceandthe temperaturehasagoodlinearrelationship．Theconstantoftheconductivityelectrodeis2．723，SOthissensorcan measurethegeneralwaterconductivity．ComparedwiththeslopeofthecommercialORPinstrument，theslopeof theintegratedORPsensor(0．99733)isclosetothetheoreticalslope(1．0000)againstquinhydronecalibration solutions． Keywords：micro—electro—mechanicalsystem (MEMS)technology；Ag／AgC1referenceelectrode；integrated microelectrode；waterqu