光学非球面超精密磨削关键技术的研究.pdf

第 卷 第 期 哈 尔 滨 工 业 大 学 学 报 Vol.35 No.8 35 8 年 月 , Au . 2003 2003 8 JOURNALOFHARBIN INSTITUTE OFTECHNOLOGY g 大型光学非球面超精密磨削关键技术的研究 1 1 2 韩成顺 ,董 申 ,唐余勇 ( 哈尔滨工业大学 机电工程学院,黑龙江 哈尔滨 , : ; 1. 150001 E-mailhancscn @y 哈尔滨工业大学 理学院,黑龙江,哈尔滨 ) 2. 150001 摘 要:针对大型光学非球面制造难度大的缺点,根据非球面的轴对称性,在对非球面方程及曲率分析基础 上,采用简便的二轴联动超精密磨削机床,给出两种砂轮加工光学非球面的几何模型,分析了形成光学非球 面造型误差的主要影响参数,并通过计算机仿真,得到一系列有价值的结果,即:()调整平行砂轮安装角以 1 获得最大行程,可明显提高加工效率和精度;()为提高加工精度与效率,在保证砂轮形状精度前提下,带角 2 圆砂轮应采用较大的角圆半径;()在加工效率、精度以及质量的稳定性上,带角圆砂轮比平行砂轮有显著的 3 优势;()平行砂轮加工成本低,在缓变非球面的粗磨阶段,可用其以较小的安装角度达到加工要求 从而为 4 . 提高加工效率与精度提供工具选择的依据. 关键词:大型光学非球面;超精密磨削;造型误差 中图分类号: , 文献标识码: 文章编号: ( ) TG580.6 TH706 A 0367-6234 2003 08-0905- 04 Ultra-recision rindin oflareo ticalashericsurface p g g g p p 1 1 2 , , HAN Chen -shun DONG Shen TANG Yu-on g