汽车MEMS传感器的发展现状和未来趋势.pdfVIP

研究发展 YANJIUFAZHAN 以MEMS技术为核心的智能化、微型化、集成化新型传感器大量使用在汽 车上，正逐渐成为汽车传感器的主流产品。本文对汽车MEMS传感器的发展现 状、汽车MEMS传感器的分类进行了介绍性的论述，并对汽车典型的几种MEMS 传感器，压力传感器、加速度计、微机械陀螺进行 了较详细论述；最后针对汽 车MEMS传感器的发展现状，展望了未来发展趋势并提出几点要求。 微机电系统 (Micro-Electro-MechanicalSystems)简 且成为汽车传感器最重要的使用类型；化学MEMS传感器 称MEMS，是利用微系统设计、微细加工、微型机械组装和 主要用来测量汽车系统中气体成分；生物MEMS传感器主 封装技术、微系统的表征和测试技术，及微 电子技术和微加 要用于预测驾驶疲劳生理特性等汽车行驶安全领域。 工技术 (包括硅表面和硅体微加工、化学腐蚀或集成电路工 艺 LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各 1．1MEMS压力传感器 种高性价比、微型化、集成化、智能化的传感器、执行器、 MEMS压力传感器是在汽车上应用最多的微机 电传感 驱动器和微系统，并应用现代信息技术的最新成果的基础上 器，可用于测量进气歧管压力、轮胎气压、柴油机共轨油压、 发展起来的高科技学科。汽车MEMS传感器利用微精密机 发动机的机油压力等，可以使用在制作工艺和 电路设计上， 械加工和集成电路电子加工技术，以硅为主要材料将微米级 低成本而高精度地进行大量的生产。 的信号处理器、敏感元件、数据处理装置封装在一块芯片上， 主要分为两种：硅压阻式和硅电容式。最流行的采用压 制造出新型高精度、高效能、低成本、微型智能传感器。据 阻式力敏原理 ，这是 目前此类传感器中产量最大和应用最广 IHS iSuppli公司的MEMS研究报告，2011年汽车MEMS 泛 的产 品，经过几代的更新和设计 ，为 了将压力信号转化为 销售额达到22亿美元，比2010年的 19亿美元劲增 16％。 电信号采用了应变原理，将惠斯顿检测 电桥通过MEMS技 压力传感器、加速计、陀螺仪和流量传感器等四类产品是汽 术制作在单晶硅片上。微型硅压阻式MEMS压力传感器可 车MEMS销售额的主要贡献者，几乎 占了整个汽车MEMS 用于发动机废气循环系统，替代陶瓷电容式压力传感器。多 市场销售额的99％。 重压力MAP传感器主要用于汽车 电控燃油喷射系统EFI， 监测发动机进气歧管绝对压力，提高其动力性能，降低油耗， 1汽车 MEMS传感器的发展现状 减少废气排放。MEMS传感器常用在汽车空调压缩机中的压 力测量，并且 已经形成较大的市场。此外，另一个极具市场 汽车MEMS传感器按应用方面分为发动机控制系统传 前景的是轮胎气压 自动监测系统，MEMS压力传感器适合于 感器、底盘控制系统传感器、车身控制系统传感器和 电气设 任何类型的轮胎，在轮胎胎壁埋设一小块感压力敏芯片，自 备传感器。按被测量性质又可以分为以物理量为信号的传感 动测量轮胎气压、温度、转速和其它一些数据，并用特定的 器、以化学量为信号的传感器和生物量为信号的传感器。物 代码发送出来。使轮胎始终保持 良好的应用性能，可提高安 理量MEMS传感器普遍用在汽车 电子控制的各个领域，并 全系数，缩短制动距离5～10％，并能降低油耗 l0％左右。