LED基本知识和工艺(完整版稿).pdf

半导体发光二极管基本知识和工艺 导 言 自从 60 年代初期 GaAsP 红色发光器件小批量出现进而十年后大批量生产以来，发 光二极管新材料取得很大进展。最早发展包括用 GaAs P 制成的同质结器件，以及 GaP 1-x x 掺锌氧对的红色器件，GaAs P 掺氮的红、橙、黄器件，GaP 掺氮的黄绿器件等等。到了 1-x x 80 年代中期出现了GaAlAs 发光二极管，由于 GaAlAs 材料为直接带材料，且具有高发光 效率的双异质结结构，使 LED 的发展达到一个新的阶段。这些 GaAlAs 发光材料使 LED 的发光效率可与白炽灯相媲美，到了 1990 年，Hewlett-Packard 公司和东芝公司分别提 出了一种以AlGaIn 材料为基础的新型发光二极管。由于 AlGaIn 在光谱的红到黄绿部分 均可得到很高的发光效率，使 LED 的应用得到大大发展，这些应用包括汽车灯 （如尾灯 和转弯灯等），户外可变信号，高速公路资料信号，户外大屏幕显示以及交通信号灯。近 几年来，由于 CaN 材料制造技术的迅速进步，使蓝、绿、白LED 的产业化成为现实，而 且由于芯片亮度的不断提高和价格的不断下降，使得蓝、绿、白LED 在显示、照明等领 域得到越来越广泛的应用。 本课程将介绍 LED 的基本结构、LED 主要的电学、光度学和色度学参数，并简单介 绍 LED 制造主要工艺过程。 1. 发光二极管 （Light Emitting Diode） 的基本结构 图1是普通 LED 的基本结构图。它是用银浆把管芯装在引线框架 （支架）上，再 用金线把管芯的另一侧连接到支架的另一极，然后用环氧树脂封装成型。 组成 LED 的主要材料包括：管芯、粘合剂、金线、支架 和环氧树脂。 1.1 管芯 事实上，管芯是一个由化合物半导体组成的PN 结。由 不同材料制成的管芯可以发出不同的颜色。即使同一种材 料，通过改变掺入杂质的种类或浓度，或者改变材料的组 份，也可以得到不同的发光颜色。下表是不同颜色的发光 二极管所使用的发光材料。 图1普通 LED 基本结构图 1 - - 表1 不同颜色的发光二极管所使用的发光材料 发光颜色 使用材料 波长 普通红 磷化镓 （GaP） 700 高亮度红 磷砷镓 (GaAsP) 630 超高亮红 镓铝砷 (GaAlAs) 660 超高亮红 镓 铟 铝 磷 625-640 (AlGaInP) 普通绿、黄绿 磷化镓 （GaP） 565-572 高亮绿 镓 铟 铝 磷 572 (AlGaInP) 超高亮绿 氮化镓 ( InGaN ) 505-540 普通黄、橙 磷砷镓 (GaAsP) 590,610 超高亮黄、橙 镓 铟 铝 磷 590-610 (AlGaInP) 蓝 氮化镓 ( InGaN ) 455-480 紫 氮化镓 ( GaN ) 400