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精馏节能减排和高效分离在多晶硅生产中的应用.pdf

技术研究 2016年第1期 50%67% 50% 精馏节能减排和高效分离在多晶硅生产中的应用 7% 胡发平 昆明冶研新材料股份有限公司 云南 曲靖 655000 摘要:本文介绍了多晶硅的生产工艺,对精馏节能技术和如何提高多晶硅质量技术进行了分析。 关键词: 多晶硅 精馏 节能减排 质量 2 Energy saving and emission reduction in rectification of polysilicon production Hu Faping Kunming Yey an New-Material Co.,Ltd.,Kunming 650031,China Abstract:This article describes the production process of polysilicon and highlights the energy saving in rectification and quality Q R improvement of the material. Keywords:polysilicon;rectification;energy saving and emission reduction;quality R Q 多晶硅作为一种重要的工业材料,在各个领域应用广 是精馏塔的回流比,D表示的是精馏塔塔顶产品的流量。 泛,当前应用较多的是信息产业。在光电转换中,多晶硅 式中,分离效率高时,回流比R反而低,此时的精馏塔能 是重要的基础材料,是进行太阳能电池生产的核心原料。 耗Q会降低,使得整个能耗降低、效能增加。所以,回流 目前,我国企业进行多晶硅生产的技术相对不完善,在对 比在整个精馏过程中是一个很重要的能与能耗成正比的参 一些核心技术的处理上存在着不少问题。所以,要想切实 数。精馏节能可以靠减小回流比来实现,回流比减少后要 1 保证好企业的产品质量,就需要企业不断对设备和工艺技 考虑用理回流比减少后要考虑用理论板数的增加来达到最 术等进行提升。 先的分析效果,它们间的关系如下图1所示。 1 关于多晶硅的生产工艺 改良西门子法是多晶硅的生产中常用的工艺方法,用 该法生产多晶硅时,有很多优点,方法成熟、风险较小及 工艺简单。使用西门子法进行多晶硅生产时消耗能源很 高,其中消耗的电力成本最高,约能占到总成本的50%。 在生产多晶硅的过程中,设备和精馏技术是其中的 最重要部分,比如改良西门子法中提纯和分离SiHCL3 和 SiCL4 的部分,对最终的超纯硅的质量和产量都有着决定 性的作用,与此同时,对节能减排也有着重大的决定作 用。 2 精馏节能技术的原理 图1 吉利兰关联图 1)多效精馏技术。所谓多效精馏是指在N个压力和 1 从图1中可以看出,当曲线左边理论板数增加时,回 温度依次递增的精馏塔中,将原料分成大致相同的N股同 流比在此时达到最小,曲线右边理论板数减少时,

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