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(生医121)第四章 电容式传感器
医用传感器原理
南昌大学信工学院电子系
生物医学工程教研室
徐晓玲
第四章 电容式传感器
第四章 电容式传感器
作用：
非电量的变化 电容式传感器
电容的
（位移、振动、加速 变化
度、力、厚度、湿度、
成分分析等……)
• 优点：结构简单、灵敏度高、动态响应特性好、适应
性强、抗过载能力大、易实现非接触测量。
• 缺点：寄生电容、泄漏电阻、非线性。
第一节 基本工作原理、结构及特点
基本原理：
• 平板形电容器
当忽略边缘效应时：
S S
0 r
C 12
( 8.85410 F / m)
d d 0
•传感器类型：变面积型、变间距型、变介电常数型
一、变间距型电容传感器
1、电容的变化：
S
C 0 r
0
d
S C
C C C 0 r 0
0
d d 1d /d
C d 1
C0 d (1d / d)
输出特性是非线性的
2、灵敏度
通常 d / d 1 ，则
C d
/(1 d / d )
C d
0
d d d 2 d 3
[1 ( ) ( ) ]
d d d d
若只考虑一次项，则： C / C0 d / d （近似为线性）
此条件下传感器的灵敏度为：
k C / d C / d S / d 2
0 0 r
适用于微米级
3、 线性度（相对非线性误差）： 的位移测量
若只考虑一次项，则：
(C / C ) d / d
0 1
若考
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