太阳能电池片生产工艺流程.ppt

等离子化学气相沉积(PEVCD) PEVCD被使用来在硅片上沉积氮化硅材料，是在300-900℃的温度下通过化学反应产生Si3N4的过程。典型的化学反应为： SiH4 + NH3 → Si3N4 + NH3 + N2 多晶硅太阳电池广泛使用PECVD淀积SiN ,由于PECVD淀积SiN时,不光是生长SiN作为减反射膜,同时生成了大量的原子氢,这些氢原子能对多晶硅片具有表面钝化和体钝化的双重作用,可用于大批量生产高效多晶硅太阳电池,为上世纪末多晶硅太阳电池的产量超过单晶硅太阳电池立下汗马功劳。随着PECVD在多晶硅太阳电池成功,引起人们将PECVD用于单晶硅太阳电池作表面钝化的愿望。 * 四、生产工艺介绍 晶体硅太阳能电池工艺流程如下： 生产工艺---清洗和表面腐蚀 生产工艺---制绒 表面绒面化 由于硅片用P型（100）硅片，可利用氢氧化钠溶液对单晶硅片进行各向异性腐蚀的特点来制备绒面。当各向异性因子>10时（所谓各向异性因子就是（100）面与（111）面单晶硅腐蚀速率之比），可以得到整齐均匀的金字塔形的角锥体组成的绒面。绒面具有受光面积大，反射率低的特点。可提高单晶硅太阳电池的短路电流，从而提高太阳电池的光电转换效率。 金字塔形角锥体的表面积S0等于四个边长为a正三角形S之和 由此可见有绒面的受光面积比光面提高了倍即1.732倍。 绒面受光面积 当一束强度为E0的光投射到图中的A点，产生反射光Φ1和进入硅中的折射光Φ2。反射光Φ1可以继续投射到另一方锥的B点，产生二次反射光Φ3和进入半导体的折射光Φ4；而对光面电池就不产生这第二次的入射。经计算可知还有11%的二次反射光可能进行第三次反射和折射，由此可算得绒面的反射率为9.04%。 绒面反射率 生产工艺---扩散 生产工艺---表面成膜 生产工艺---制备电极（1） 生产工艺---制背电极（2） 生产工艺---背表面钝化 五、生产设备—清洗设备 生产设备—扩散炉 生产设备—刻蚀 生产设备—PECVD 生产设备—测试仪 生产设备—烘干炉 生产设备—快烧炉 五、生产环境及其它 太阳能电池生产最主要的材料是单晶硅片或多晶硅片。 其它辅料包括: 化学液（ NaOH 、IPA、乙醇、铭酸、HF） 特气（CF4、SiH4、NH3） 大宗气体（CDA、N2、O2） 水（PCW、DI） 单晶硅的制绒工艺：是通过NaOH和乙醇反应，在硅片上形成减反织构，增强电池对光线的吸收能力。 多晶硅的制绒工艺：是加入铬酸和氢氟酸，利用铬酸的强氧化性将切割后硅片上的污物清除，并产生SiO2和C2O3，达到在硅片上形成减反织构的目的。 丝网印刷：银浆或银铝浆等导电材料印刷在硅片上，作为太阳能电池电子导通的主要通道。 六、主要原材料