ei-5_第7章 模式选择.docVIP

模式选择 各部分进行自动操作时的画面。在自动模式中进行操作。 按＜MODE SELECT＞键，出现模式选择画面。 低温泵待机 起动低温泵。 在执行时，必须满足以下所有条件。 工作模式为“自动模式”。 预定要执行对象的真空室及其他功能都没有在执行状态。 目前警报已被清空（复位） 按Cryo Pump Stanby的＜START＞键。 出现确认画面，按＜Done＞键。 低温泵进入待机状态。低温泵待机状态执行中时，Run的灯亮。 待机完成时，Complete的灯亮。 ＜STOP＞键仅在低温泵待机执行中有效。 真空排气 对真空室进行真空排气。 以下状态时使用。 在生产活动中，下一批次到达之前的时间是空着的，在此期间内保持片盒室的真空状态。 刻蚀室在到达大气压状态后再次回到真空。 在执行时，必须满足以下所有的条件。。 工作模式为“自动模式”。 预定要执行的真空室的其他功能都没有在执行状态。 目前警报已被清空（复位） 按High Vac的＜START＞键。 会出现确认画面，按＜Done＞键。 开始真空排气。在执行真空排气中，Run的灯亮。真空排气完成时Complete的灯亮。 ＜STOP＞键仅在真空排气的执行中有效。处理开始时，压力指示值实时更新，到达设定值时，真空排气结束。 放气 以下时间能够使用。 设备处在自动工艺完成、真空排气停止的状态，要更换硅片时候。 进行处理真空室的清洗，防着板的交换的时候。 执行时，必须满足以下所有条件。 工作模式为“自动模式”。 预定要执行的真空室的其他功能的都没有在执行状态。 目前警报已被清空（复位） 按Vent＜START＞键。 出现确认画面，按＜Done＞键。 开始放气。放气执行中时，Run的灯亮。放气完成,Complete的灯亮。 ＜STOP＞键仅在放气执行中有效。 放气的设定次数如果是1次以上，会进行循环放气的工作。 关于循环放气 为了使真空室内的冷却更加有效率时使用。使用循环放气时，Vent Counter的次数请设定为1次以上。另外，与循环放气相关的参数，请在System Parameter的「Vent Timer」和「Rough Vac Waiting Timer」中设定。 循环放气的流程，首先按照「Vent Timer」的设定时间进行放气工作，然后，按照「Rough Vac Waiting Timer」的设定时间待机，开始粗抽。在「Vent Timer」的设定时间内，放气达到大气压的时点放气完成。按「Rough Vac Waiting Timer」的设定时间待机后，开始粗抽。 粗抽到达真空室的皮拉尼真空计set point1（High 接点）后，Vent Counter的现在值计为1次。 重复此动作达到「Vent Counter」的设定次数后，最后放气到达大气压状态。 真空泵停止 以下时间能够使用。 想要使真空泵停止时。 在执行时，必须满足以下所有的条件。 工作模式为“自动模式”。 预定要执行的真空室的其他功能的都没有在执行状态。 目前警报已被清空。 按Pump Stop＜START＞键。 出现确认画面，按＜Done＞键。 真空泵开始停止。在真空泵停止执行中，Run灯亮。真空泵停止完成，Complete灯亮。 低温泵再生 以下时间能够使用。 想要使低温泵再生时。 在执行时，必须满足以下所有的条件。 工作模式为“自动模式”。 执行对象真空室的其他功能都没有在执行状态。 目前警报已被清空。 按Cyro Regene＜START＞键。 出现确认画面，按＜Done＞键。 开始再生。在执行再生过程中，Run灯亮。再生完成，Complete灯亮。。 MEMO CE-300 BOOK-1 OPERATION GUIDE / 第7章 モードセレクト画面 HIGH VACUUM EVAPORATION SYSTEM COMPUTER FUNCTION GUIDE 第7章　モードセレクト画面 BK1_CHP06 6-14 7-7