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飞秒激光用多层介质膜脉宽压缩光栅的设计.pdf
第 卷第 期 年 月 物 理 学 报
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飞秒激光用多层介质膜脉宽压缩光栅的设计!
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孔伟金 刘世杰 沈 健 沈自才 邵建达 范正修
!）（中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 $!%$$ ）
）（中国科学院研究生院，北京 !$$$’）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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以薄膜光学的干涉理论和衍射光学的傅里叶模式理论为基础，给出了$+% , 飞秒激光器用多层介质膜脉宽压
!
缩光栅的理论设计；设计采用 （ ） 的多层介质膜为基底，当刻蚀后表面浮雕结构的占宽比为
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，线密度为 线 ，槽深为 ，顶层 的剩余厚度为 时，对于 角度（ ）和 波模
$+.( !%$ 1 ,, $+ , -23 $+!( , /455678 .)+*9 :;
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式入射的衍射光栅其 级衍射效率达到 以上
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关键词：飞秒激光，脉宽压缩光栅，多层介质膜
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+ 设计指标
!+ 引 言
$%% 脉宽压缩光栅的设计指标
随着啁啾脉冲放大技术的发展和性能的改善，
大能量、高峰值功率的飞秒激光成为研究强场和物 多层介质膜光栅是由基底、高反射率介质膜系
质的相互作用、原子物理学、超快化学动力学以及惯 和周期性浮雕结构构成，其基本结构如图 所示 样
!
性约束聚变的有效手段 而啁啾脉冲放大技术就是 品的工艺制备过程分为两部分：一是交替沉积-23
将超短激光脉冲在被放大之前进行时域上的展宽， 和 K43 多层介质膜（构成高反射膜系）以及顶层
其目的在于降低放大过程中激光脉冲的强度以减少 -23 膜（用来刻蚀表面浮雕结构）的制备；二是在顶
［— ］
放大过程中强激光作用产生的非线性效应 ! . ；作 层-23 膜上对光刻胶进
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