传感器原理及应用第9章(荐).pptxVIP

传感器原理及应用;概述;9.1 气敏传感器;一、半导体气敏传感器 元件材料：金属氧化物或金属半导体氧化物， 作用原理：与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。借此来检测特定气体的成分或者测量其浓度，并将其变换成电信号输出。 应用范围：可用于检测气体中的特定成分（CO、CO2、甲醛、酒精、氧气、氢气等）。;应用场合： 一般用于易燃、易爆、有毒、有害气体的检测和报警。 基本要求： 1、对被测气体有高的灵敏度。 2、气体选择性好。 3、能够长期稳定工作。 4、响应速度快。;分类： ;表9.1 半导体气体传感器的分类;电阻式半导体气敏传感器： 其电阻随着气体含量不同而变化; 主要是指半导体金属氧化物陶瓷气敏传感器，是一种用金属氧化物薄膜（例如SnO2、ZnO、Fe2O3、TiO2等）制成的阻抗器件。 ;二、表面控制型电阻式半导体气敏传感器 ;图9.1 某气敏传感器的整体结构;（1） 烧结型 将元件的电极和加热器均埋在金属氧化物气敏材料中, 经加热成型后低温烧结而成。;;;内热式气敏器件结构;旁热式气敏器件结构;注：加热器的作用 （1）使附着在元件上的油污、尘埃烧掉。 （2）加速气体的氧化、还原反应，提高器件的灵敏度及响应速度。; 2、工作原理 元件加热到稳定状态，当有气