沈航传感与测试技术3.3.2电量型—电荷输出型.ppt

传感器定义、电阻式传感器 常用传感器 思考题 电参量型传感器和电量型传感器的测量电路有什么不同? 热电偶的工作定律是如何应用的? 传感器定义、组成及分类　 电参量型传感器 电量型传感器 光电式传感器 光纤传感器 数字式传感器 电压输出型传感器 电荷输出型传感器 电量型传感器测量电路 电量型传感器 电荷输出型传感器 被测量变化能引起传感器输出电荷或电流变化的传感器统称为电荷输出型传感器。 电荷输出型传感器直接输出的是电量，后续测量电路只需电荷放大器或电压放大器即可。 典型电荷输出性传感器——压电式传感器。 压电式传感器(Piezoelectric Sensor)是以具有压电效应的压电器件为核心组成的传感器。 能实现机械能和电能的相互转换，是典型的双向能量转换型传感器，故又称为自发电式和机电转换式传感器。 应用其正压电效应可实现压力等非电量的电测量，输出电荷量，是典型的电量型传感器；应用其逆压电效应，可制成力发生器、位移驱动器等。 压电式传感器 压电传感器 机械能 电能 （逆型换能器） 压电效应 压电效应：某些电介质物体在某方向受压力或拉力作用产生形变时，表面会产生电荷；当外力撤消后，物体又重新回到不带电状态，这种现象成为压电效应。当作用力方向改变时，电荷极性随之改变，把这种机械能转化为电能的现象称为“正压电效应”，简称压电效应。 压电式传感器 F F 极化面 图3.57 正压电效应原理图 压电效应 压电式传感器 逆压电效应(Reverse piezoelectric effect)：由于外电场作用导致物体的机械变形现象，称为逆压电效应，又称电致伸缩效应。 具有压电性的电介质（压电材料），能实现机-电能量的相互转换。 压电材料 压电材料的主要性能参数： 压电常数(piezoelectricity constant)：衡量材料压电效应强弱的参数，直接关系到压电输出灵敏度。 弹性常数(elasticity constant)：材料的弹性常数（刚度）决定着压电器件的固有频率和动态特性。 介电常数(dielectric constant)：固有电容与介电常数有关，而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。 机电耦合系数(machine-electrical coupling coefficient)：在压电效应中，转换输出的能量（如电能）与输入的能量（如机械能）之比的平方根。它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。 电阻(resistance)：压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏，从而改善压电传感器的低频特性。 居里点(curie point)：压电材料开始丧失压电性的温度。 压电式传感器 压电材料 压电材料的分类：压电晶体(piezoelectric crystal)、压电陶瓷(piezoelectric ceramics)、新型压电材料。 石英晶体（quartz，SiO2） 具有压电性的单晶体统称为压电晶体。单晶材料的压电效应是由于这些单晶受外应力时内部晶格结构变形，是原来宏观表现的电中性状态被破坏而产生电极化。石英晶体是典型而常用的压电晶体。 主要性能特点：压电常数小，其时间和温度稳定性好;机械强度和品质因数高，刚度大，固有频率高，动态特性好;居里点573℃，无热释电性，且绝缘性好、重复性均好。 压电式传感器 压电材料 石英陶瓷(piezoelectric ceramics) 压电陶瓷是一种经极化处理后的人工多晶铁电体。所谓“多晶”，它是由无数细微的单晶组成；所谓“铁电体”，它具有类似铁磁材料磁畴的“电畴”结构。每个单晶形成一单个电畴，无数单晶电畴的无规则排列，致使原始的压电陶瓷呈现各向同性而不具有压电性。要使之具有压电性，必须作极化处理。 极化处理（polarization） ：在一定温度下对材料施加强直流电场，迫使“电筹”趋向外电场方向作规则排列；极化电场去除后，趋向电筹基本保持不变，形成很强的剩余极化，从而呈现压电性。 压电式传感器 压电材料 石英陶瓷(piezoelectric ceramics) 主要性能特点：压电常数大，灵敏度高；制造工艺成熟，成形工艺性也好，成本低廉，利于广泛应用；具有热释电性。 新型压电材料 新型压电材料常见的有压电半导体和有机高分子压电材料。 压电半导体（piezoelectric semiconductor）：其显著特点是：既具有压电特性，又具有半导体特性。 有机高分子压电材料：合成高分子聚合物（质轻柔软，抗拉强度较高，蠕变小，耐冲击，热释电性和稳定相较好，便于批量生产和大面积使用）；高分化合物掺杂压电陶瓷的高分子压电薄膜（保持了高分子压电薄膜的柔软性，又具有较高的压电性和机电耦合系数）。 压电式传感器 压电传感器及其等效电路 压电器件实际上是一个电荷发生器，也可视为一个电容