微机械滤波器3dB通带特性参数新计算模型-东南大学学报.PDFVIP

第３６卷第４期 东南大学学报（自然科 学版 ） Ｖｏｌ３６ Ｎｏ４ 　 ２００６年７月 ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＳＯＵＴＨＥＡＳＴＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ） 　 Ｊｕｌｙ２００６ 　　　　　　 微机械滤波器３ｄＢ通带特性参数新计算模型 李　普　杨　华　 孙庆鸿 （东南大学机械工程学院，南京２１００９６） 摘要：以含２个振子的微机械滤波器为对象，提出了一组３ｄＢ截止频率、３ｄＢ带宽和通带波纹 度计算模型．首先，考虑到微机械滤波器的阻尼很小，在振动方程的基础上推导出了通带波纹度 近似计算模型．然后，将微机械滤波器的幅频响应函数在２个固有频率处做Ｔａｙｌｏｒ二阶展开，再 考虑到幅频响应函数的一阶导数在２个固有频率处近似为零，推导出了３ｄＢ截止频率及３ｄＢ 带宽近似计算模型．最后，用计算实例证明了这些近似计算模型的精确性． 关键词：ＭＥＭＳ；微机械滤波器；３ｄＢ带宽 中图分类号：Ｏ３５７；ＴＮ７０３　　文献标识码：Ａ　　文章编号：１００１－０５０５（２００６）０４０５２６０５ Ｎｅｗａｎａｌｙｔｉｃａｌｍｏｄｅｌｆｏｒ３ｄＢｂａｎｄｗｉｄｔｈｏｆＭＥＭｆｉｌｔｅｒ ＬｉＰｕ　 ＹａｎｇＨｕａ　ＳｕｎＱｉｎｇｈｏｎｇ （ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｏｕｔｈｅａｓｔＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１００９６，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｓｅｔｏｆｎｅｗａｎａｌｙｔｉｃａｌｍｏｄｅｌｓｆｏｒ３ｄＢｃｕｔｏｆｆｆｒｅｑｕｅｎｃｙ，３ｄＢｂａｎｄｗｉｄｔｈａｎｄｒｉｐｐｌｅｏｆａ ｓｅｒｉｅｓｔｗｏｒｅｓｏｎａｔｏｒｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌｓｙｓｔｅｍ （ＭＥＭ）ｆｉｌｔｅｒｉｓｐｒｅｓｅｎｔｅｄ．Ｓｅｅｉｎｇｔｈａｔｔｈｅ ｄａｍｐｉｎｇｏｆｔｈｅＭＥＭｆｉｌｔｅｒｉｓｖｅｒｙｓｍａｌｌ，ａｎｅｗａｎａｌｙｔｉｃａｌｍｏｄｅｌｆｏｒｔｈｅｒｉｐｐｌｅｏｆｔｈｅＭＥＭｆｉｌｔｅｒｉｓ ｄｅｒｉｖｅｄｆｉｒｓｔｌｙ．ＴｈｅｎｔｈｅｍａｇｎｉｔｕｄｅｒｅｓｐｏｎｓｅｆｕｎｃｔｉｏｎｏｆｔｈｅＭＥＭｆｉｌｔｅｒｉｓｅｘｐｅｎｄｅｄｉｎｔｗｏｏｒｄｅｒ Ｔａｙｌｏｒｓｅｒｉｅｓａｒｏｕｎｄｔｗｏｎａｔｕｒａｌｆｒｅｑｕｅｎｃｉｅｓｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ．Ｔｈｅｎｅｗａｎａｌｙｔｉｃａｌｍｏｄｅｌｓｆｏｒ３ｄＢｃｕｔｏｆｆ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ，３ｄＢｂａｎｄｗｉｄｔｈａｒｅｄｅｒｉｖｅｄｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｆａｃｔｔｈａｔｔｈｅｆｉｒｓｔｄｅｒｉｖａｔｉｖｅｏｆｔｈｅｍａｇｎｉｔｕｄｅｒｅ ｓｐｏｎｓｅｆｕｎｃｔｉｏｎｉｓｎｅａｒｚｅｒｏａｔｔｈｅｔｗｏｎａｔｕｒａｌｆｒｅｑｕｅｎｃｉｅｓ．Ｔｈｅｓｅｔｏｆｎｅｗｍｏｄｅｌｓｉｓｖａｌｉｄａｔｅｄｂｙ ｃｏｍｐａｒｉｎｇｉｔｓｒｅｓｕｌｔｓｗｉｔｈｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｆｒｏｍｃｏｎｖｅｎｔｉｏｎａｌｍｅｔｈｏｄ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌｓｙｓｔｅｍｓ；ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌｓｙｓｔｅｍｆｉｌｔｅｒｓ；３ｄＢｂａｎｄｗｉｄｔｈ 　　近２０年来，ＭＥＭＳ技术发展迅速，出现了许 析模型能直接计算这些参数，只能采用数值试算 多极有前途的微机电装置，微机械滤波器就是其中 法．试算法不能给出通带特性参数与物理参数的数 ［１５］ 学关系，不利于优化设计，而且计算效率也不够理 之一 ．微机械滤波器的通带幅频特性参数 ［５］ 想．由于单个振动自由度微机械滤波器通频带窄， 有 ：３ｄＢ截止频率及３ｄＢ通带带宽、４０ｄＢ截止 频率及４０ｄＢ通带带宽、形状因子（ｓｈａｐｅｆａｃｔｏｒ）、 因此，研究多振动自由度机械滤波器通带幅频特性 波纹度（ｒｉｐｐｌｅ）、插入损耗（ｉｎｓｅｒｔｉｏｎｌｏｓｓ）等．所谓 参数的计算模型具有重要的意义． 的滤波器设计就