扫描电子显微镜成像信号分析.PDFVIP

第 6 期 42 真　空　　VACUUM 　　　　　　　　　　　　　　　　　2001 年 12 月 扫描电子显微镜成像信号分析 陈长琦, 干蜀毅, 朱　武, 王先路 (合肥工业大学机械与汽车工程学院, 安徽　合肥　230009) 摘　要: 介绍了扫描电子显微镜(SEM ) 的基本工作原理, 着重分析了在 SEM 初始电子束作用下, 各种成像信 号产生的方式及其特点, 确定二次电子信号因成像分辨率高、携带成像信息丰富而成为 SEM 的最终信号源。 针对此信号在实际应用中暴露出的缺陷, 介绍了解决办法, 从而使 SEM 的成像性能得以大幅提高, 使用范围 大为扩展。 关键词: 扫描电子显微镜(SEM ) ; 成像信号; 二次电子 中图分类号: TN 16　　　　文献标识码: A 　　　　文章编号:(2001) Imag ing signa ls used in scann ing electron m icroscope , , , CH EN Chang qi GAN Shu yi ZHU W u W AN G X ian lu 　(F acu lty of M echan ica l and A u tom obile E ng ineering , H ef ei U n iversity of T echnology , H ef ei 230009, Ch ina) Abstract: T h is paper introduces the im aging signals used in Scanning E lectron M icro scope, analyses the p roduction and its feature of each im aging signal stim ulated by the o riginal electron beam , and selects second elcctron signal as the m ain source signal fo r its h igh reso lution and abundant im aging info rm ation. T he paper also analyses the po ssibility fo r its perfo rm ance . imp rovem ent Key words: scann ing electron m icro scope (SEM ) ; im aging signal; secondary electron 1　工作原理 扫描方式偏转。最 扫描电子显微镜(SEM ) 出现于 60 年代中期。 后一级电磁透镜在 相对于其它类型显微镜, SEM 在若干基本性能如分 样品表面把电子束 辨率、景深及微分析等方面有巨大优越性, 因而迅速 聚焦成一个尽可能 成为一种不可或缺的工具而广泛应用于科学研究和 小的点而打入样 工程实践中。随着科学的发展, 技术的进步, 其性能