自动化检测仪表第4讲解剖.ppt

5.1、压力单位及压力检测方法： 5.1.1、压力概念及单位： 5.1.2、压力的几种表示方法：分别用相应的测量仪表测量 5.1.2、压力的几种表示方法：分别用相应的测量仪表测量 5.1.2、压力的几种表示方法：分别用相应的测量仪表测量 5.1.2、压力的几种表示方法：分别用相应的测量仪表测量 5.1.2、压力的几种表示方法：分别用相应的测量仪表测量 5.1.3、压力检测的主要方法及分类： 5.2、常用压力单检测仪表 5.2.1、弹性压力计： 5.2、常用压力单检测仪表 5.2.1、弹性压力计： 5.2.1、弹性压力计： 5.2.1、弹性压力计： 5.2.1、弹性压力计： 5.2.1、弹性压力计： 5.2、常用压力单检测仪表 5.2.2、力平衡式压力计： 5.2、常用压力单检测仪表 5.2.2、力平衡式压力计： 5.2.3、压力传感器： 5.3、测压仪表的使用及压力检测系统 5.3.1、压力检测仪表的选用 5.3、测压仪表的使用及压力检测系统 5.3、测压仪表的使用及压力检测系统 　　　基于半导体应变元件的压阻效应制成的压力传感器。 1、压阻效应： ①.用集成电路工艺直接在硅平膜片上按一定晶向制成扩散压敏电阻，当硅平膜片某一轴向施加一定应力时，膜片变形使扩散电阻的电阻率、电阻值发生变化的现象。 　　电阻率变化和应变量的关系　　　电阻的应力变化关系： 　 （二）压阻式压力传感器：