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七原子力显微镜
第七章原子力显微镜; 一.引言
由于扫描隧道显微镜只能观察导体和半导体的表面结构,对于非导电材料必须在其表面覆盖一层导电膜。导电膜的存在往往掩盖了样品的表面结构的细节。为了弥补扫描隧道显微镜的这一不足,1986年Binnig、Quate和Gerber发明了第一台原子力显微镜(AFM)。
原子力显微镜是将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定,另一端有一微小的针尖,针尖与样品的表面轻轻接触,由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的作用力(斥力10-8~10-6N或范德瓦尔斯力),通过扫描时控制这种力的恒定,带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。利用光学检测法和隧道电流检测法,可以测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化,从而可以获得样品的表面形貌信息。;二. 特点:;原子间范德瓦尔斯力和距离的关系;三. AFM 的结构及工作原理;(一)隧道电流法检测的原子力显微镜;1. 结构组成;2.原子力显微镜的工作原理;(二)光学偏转法检测的原子力显微镜;1.1 力检测部分;1.2 位置检测部分;1.3 反馈系统;2.光学偏转法检测的原子力显微镜的原理;三.AFM 操作模式; 将一个对微弱力极敏感的微悬臂的一端固定,另一端有一微小的针尖,针尖与样品表面轻轻接触。由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力(10-8~10-6N),由于样品表面起伏不平而使探针带动微悬臂弯曲变化,而微悬臂的弯曲又使得光路发生变化,使得反射到激光位置检测器上的激光光点上下移动,检测器将光点位移信号转换成电信号并经过放大处理,由表面形貌引起的微悬臂形变量大小是通过计算激光束在检测器四个象限中的强度差值(A+B)-(C+D)得到的。将这个代表微悬臂弯曲的形变信号反馈至电子控制器驱动的压电扫描器,调节垂直方向的电压,使扫描器在垂直方向上伸长或缩短,从而调整针尖与样品之间的距离,使微悬臂弯曲的形变量在水平方向扫描过程中维持一定,也就是使探针-样品间的作用力保持一定。在此反馈机制下,记录在垂直方向上扫描器的位移,探针在样品的表面扫描得到完整图像之形???变化,这就是接触模式。;①恒力模式:在恒力模式中,反馈系统控制压电陶瓷管,保持探针同样品作用力不变;恒力模式不但可以用来测量表面起伏比较大的样品,也可以在原子水平上观测样品。
②恒高模式:在恒高模式下,保持探针同样品的距离不变。恒高模式一般只用来观测比较平坦的样品表面。;2.AFM的非接触模式;3.轻敲模式;4 相移模式;例:云母表面的AFM像;光盘表面的AFM图;原子搬运;红细胞的原子力显微镜形貌图;1.磁力显微镜(MFM);下图为使用MFM观察得到的磁光盘表面的磁数据位的磁结构(凹坑伏)。;2.静电力显微镜(EFM);Evaluation only.
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