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* 第六章 电子探针分析原理 一. 微束分析技术及其发展历史 微束分析技术:以聚焦电子束为激发源,进行物质成分、 结构和形貌分析的物理分析测试手段。 Cameca SX100型电子探针 JEOL JXA8100型电子探针 JEOL JXA8800型电子探针 电子探针人物谱: (1) 1895年11月8日德国物理学家Wilhelm Conrad R?ntgen 发现X射线。 Wilhelm Conrad R?ntgen (1845-1923)获得1901年第一个Nobel物理学奖 (2) Carles G. Barkla在1909年发现电子轰击纯元素可以产生特征X射线。 C.G. Barkla (1877-1944) 获得1917年Nobel 奖 电子探针人物谱: (3) Max Von Laue在1912年发现了X射线在晶体中的衍射现象。 Max von Laue (1879-1960) 获得1914年Nobel 奖 电子探针人物谱: (4) Bragg父子在1913年获得了第一个X射线光谱。 Bragg父子 获得1915年Nobel 奖 电子探针人物谱: (5) Henry G.J. Moseley得出了元素的原子序数与X射线能量之间的关系(Moseley定律)。 电子探针人物谱: (6) G.C. von Hevesy第一次提出了利用X射线荧光光谱发展电子探针的概念 。 Georg Charles von Hevesy (1885-1966) 电子探针人物谱: (7) Hiller在1947年提出电子束可以产生X射线。 (8) “电子探针之父”——Raymond Castaing(1921-1999) 系统提出了电子探针分析的理论及应用。 1958年第一台商用电子探针在Paris诞生。 电子探针人物谱: Raymond Castaing在1977年获得 美国矿物学会Roebling大奖。 Outstanding contributions to Mineralogy: Inventor of the electron microprobe and pioneering work on theory of quantitative analysis; development of ion beam microprobe. 电子探针人物谱: 电子探针技术: 1949—1958年:实验室研制阶段 1958—1973年:电子探针性能初步定型前商品 化阶段 1973—1985年:电子探针性能综合发展阶段 1985—2000年:电子探针分析计算机化阶段 2000年开始: 电子探针网络化阶段 电子探针分析的特点: 1、微区、微量 2、简便、快速 3、使用范围宽 4、分析形式多样化 5、不损坏样品 电子探针的主要分析功能: 1、图像功能 二次电子像 (SEI, Secondary electron image) 背散射电子像 (BEI, Back-scattered electron image) SEI BEI 背散射电子像: 单斜辉石中的 斜方辉石出溶 2、定性分析 陶瓷材料的定性分析 3、定量分析 ? Ab Ab Kfs Kfs SiO 2 67.38 68.47 64.49 63.23 Al 2 O 3 20.49 20.29 19.42 19.43 P 2 O 5 0.21 0.35 0.23 0.79 Na 2 O 11.11 11.21 0.15 0.12 K 2 O 0.16 0.15 15.15 15.89 CaO 0.09 0.22 bdl bdl BaO bdl bdl bdl 0.02 total 99.43 100.68 99.44 99.47 4、线分析 镀硼钢材表面线分析 FeB Fe2B Fe 5、面分析 崂山A型花岗岩中的锆石 石榴子石:Y面分析
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