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【2017年整理】BPG400 真空规管中文手册
IR 090
热阴极电离复合真空计
使 用 说 明 书
BG 804 171 BE
目录
产品标识
有效范围
使用范围
工作原理
注册商标
1 安全
1.1 使用符号
1.2 人员素质
1.3 一般安全规则
1.4 赔偿责任与保修
2 技术参数
3 安装
3.1 真空连接
3.1.1 拆卸和安装电子学单元
3.1.2 安装延伸件
3.2 电源连接
3.2.1 与COMBIVAC IT23一起使用
3.2.2 与其它测量仪器一起使用
4 运行
4.1 测量原理,测量特性
4.2 真空计工作原理
4.3 除气
4.4 显示器
4.5 RS232C接口
4.5.1 功能说明
4.5.1.1 IR090输出
4.5.1.2 IR090输入
5 维护
5.1 维护
5.2 真空计调整
5.3 真空计清洗
5.4 安装障板
5.5 更换障板
5.6 更换规管
5.7 故障查找
6 拆卸
7 产品返修
8 附件
9 备件
10 废物处理
附录
A. 测量讯号与压强的关系
B. 气体种类与压强的关系
污染申报表
参阅本说明书中的章节,采用符号(→XY)。参阅其它文献,采用符号(→[Z])。
产品标识 与Leybold Inficon联系时,请标明产品标牌上给出的信息。将信
息复制在标牌的复印件上。
有效范围 本说明书适用于下列件号的产品
不带显示器
120 90 (法兰DN 25 ISO-KF)
120 92 (法兰DN 40 CF-R)
带显示器
120 91 (法兰DN 25 ISO-KF)
120 94 (法兰DN 40 CF-R)
产品的件号在标牌上标明。
本公司保留对说明书不预先通知的技术更改权。
使用范围 IR090用于在压强5×10-10…1000毫巴范围内非易燃性气体和气体混合物的真空测量。
真空计规管是SKY Smart真空计规管系列的一个组成部分。可
与COMBIVAC IT23或其它测量仪器一起工作。
工作原理 在整个测量范围内,热阴极电离复合真空计有连续的测量特性。
它的测量讯号是对数压强输出。
真空计的功能包括BA规热阴极电离测量系统(用于p<2.0×10-2
毫巴)和皮拉尼测量系统(用于p>5.5×10-3毫巴)。在2.0×10-2
毫巴至p>5.5×10-3毫巴的交叉压强范围内,输出两个测量系统
的混合讯号。只有当皮拉尼测量系统的压强低于2.4×10-2毫巴
的阈值时,才能转换至热阴极测量系统(防止灯丝烧断)。当压
强超过3.2×10-2毫巴时切断电源。
注册商标 Combivac Leybold
SKY Leybold Inficon
1 安全
1.1 使用符号
危险
有关防止任何人身伤害的信息。
警告
有关防止设备和环境损伤的信息。
注
有关正确掌握或使用的信息。如不注意可导致设备故障或局部损伤。
提示,建议
1.2 人员素质
技术熟练的人员
本说明书中涉及的全部工作必须由经过技术培训、有经验的或由产品的最终用户委派的人员执行。
1.3 一般安全规则 ? 遵守安全使用规则,对过程介质采取必要的预防措施。
注意材料(→第7页)与过程介质之间可能的反应。
注意用于产品产生的热导致过程介质可能产生的反应。
? 全部工作必须在遵守安全使用规则和必要的预防措施下进
行。注意本说明书中的安全要点。
? 在开始工作前,检查是否有被污染的真空元件。当处理被污
染的元件时,遵守有关的规程和采取必要的预防措施。
与其它用户交流安全方面的经验。
1.4 赔偿与保修责任 如最终用户或第三方有以下情况,Leybold Inficon将不承担赔偿
与保修责任。
? 不理会本说明书中的要求
? 在不适当的状态下使用本产品
? 对产品作任何变动(修改,更改等)
? 使用不是相应产品文件中所
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