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SPDT加工对KDP晶体表面温度及应力的影响.pdf
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第45 卷第4 期 人工晶体学报 吨 a
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SPDT 加工对 KDP 晶体表面温度及应力的影晌
杨萍l ，张晨责l ，梁莹林1 ， .*IJ 有海2 ，阳红2 ，张连新2 ，采春红l ，姜晶l ，王超l
(1.电子科技大学微电子与团体电子学院.成都 611731 ;2. 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，绵阳 6219∞)
摘要:KDP 晶体作为优质的非线性光学材料，具有脆位高、对温度敏感等特性，在单点金刚石切肖IJ (SPDT) 超精密
加工中，微小的温度和应力变化有可能对晶体造成损伤，但是一直未有相关实验报道。 本文采用红外热成像仪对
SPDT 加工过程进行监测，结合 Raman 光谱技术，研究 KDP 晶体在 SPDT 加工前后表团温度和应力的分布变化。 大
尺寸 KOP 晶体经过快速微区切削后，在给定的切削工艺条件下，测量出切削部分最高瞬态温度比附近来切削部分
高出将近8 C 。 通过 Raman 测量，显示切削后晶体表面存在残余拉应力。 结合热力搞合模拟仿真，进一步分析了
SPDT 加工过程动态切削温度对晶体质量的影响，为优化加工参数提供依据。
关键词:KDP 晶体;温度原位测量;Raman 光谱;模拟仿真
中图分类号:0786 文献标识码:A 文章编号:1C削-985X( 2016 )04 -0896-05
Effect of the SPDT 00 Surface Temperature and Stress of KDP Crystal
YANG Ping , ZHANG Chen-gui , LlANG Ying-lin , LlU You-hai2 , YANG Honi , ZHANG Lian-xin2 ,
LUAN Chun-hong , J/ANG Jing , WANG C
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