Ti含量对磁控溅射CrTiAlN镀层摩擦磨损及热冲击性能的影响.pdf

摘 要 论 文题 目: Ti 含量对 磁 控溅 射 C rTI AI N 镀 层摩擦 磨损及热冲击 性 能 的影 响 学科 专业 : 材料科 学 与工程 研 究 生 : 负 柯 签签签名名名 …: 指 导教师 : 蒋 百灵 教授 白力静 副 教授 摘 要 本 文利 用磁 控 溅 射 技 术在 高速 钢 和 单 晶硅 基 体 上 制 备 了不 同Ti 含 量 的 C TrI AI N 镀 层 。 采 用 E D S 、X R D 、SE M 及 T E M 对 镀 层 的化 学成 分 、相 组成 及 组 织 结构进 行 了分 析 ; 测 试 了镀层 的硬度 、韧性 、结合 强度 、多冲抗 力等 基本 力 学性 能 ; 通 过 W M M 一2 型万 能摩 擦 磨 损 试验 机及 光 学 显微 镜 研 究 了镀 层 的室温 和 热 摩 擦 磨 损 性 能 ;采 用箱 式 电阻炉 在 不 同 温 度 下考 察 了镀 层 的热 冲 击 性 能 ; 结合 镀 层 的成 分 、微 观 形貌 、相 组 成及 力 学 性 能探 讨 了 Ti 元 素对 镀 层 摩擦 磨 损 和 热 冲 击 性 能 的影 响及 作 用 机 理 。 研 究 结 果表 明 : 随着 Ti 含 量 的增 加 ，镀 层 中 出现 少 量 的TI N 相 ，并 且 镀 层 中 的Ti 原 子 会 逐 渐 置 换C Nr 中C r原 子 形 成 (C r，Ti ，Al ) N 体 系 ; 镀 层 的表 面 形貌 由三 棱 锥 结 构 逐 步 转 变 为胞状 结构 ; 柱 状 结 构 间 的界面 也逐 渐 模 糊 ; 当Ti 含 量 为5.31 % 时 ，镀 层 具 有 较 好 的 力 学 性 能 。镀 层 与4 5钢 常 温 对 磨 时 ， 随着Ti 含 量 的增 加 ，其 摩 擦 系数 从 0. 25 降至 0. 37 ，磨 损 失 重 率 也 逐 渐 降低 ，镀 层 的抗 磨 损 性 能增 加 ，磨 损 机 制 由粘 着 磨 损 向磨 粒 磨 损 转 换 。热 磨 损 时 ，随Ti 含 量 的增 加 ，镀 层 的摩 擦 系 数 呈 减 小 趋 势 ，磨 损 失 重 率 先 降低 后 增 加 ，Ti 含 量 为0% 的镀 层 磨损 失 重 率 最 大 ，Ti 含 量 为 01 .05 % 的镀 层 具 有 比Ti 含 量 为0.37 % 、5.31 % 镀 层 更 大 的磨 损 失重 率 。镀 层 的热 磨 损 机 制 是粘 着 磨 损 、磨 粒 磨 损 和 氧 化 磨 损 共 同作 用 ， 且 随着Ti 含 量 的增 加 ，其 磨 损 机 制 逐 渐 以氧 化 磨 损 为 主 。Ti 含 量 增 加 对 镀 层 的抗 热 冲 击 性 能 也 有 影 响 ，Ti 含 量 高 ，热 冲 时 易生 成 疏 松 结 构 的TI O Z，可 为氧 原 子 的进 一 步 扩 散 提 供 通 道 ， 降低 了镀 层 的抗 热 冲 击 性 能 。 关 键 词 : C TrI AI N 镀 层 ; 相 ; 微 观 组 织 ; 摩 擦 磨 损 性 能 ; 热 冲 击 性 能 少 A b stra c t T it !G : E F F E C T O F T i C O N T E N T O N T R IB O L O G !C A L A N D T H E R M A L IM P A C T P R O P E R T !E S O F C Tr IA !N C O A T IN G S B Y M A G N E T R O N S P U T