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中国集成电路 CIC 封装 China lntegrated Circult BGA/CSP 和倒装焊芯片面积阵列封装技术 罗伟承, 刘大全 (上海微松半导体设备有限公司,上海201114) 摘要:随着表面安装技术的迅速发展,新的封装技术不断出现,面积阵列封装技术成了现代封装的热门 话题,而BGA/ CSP 和倒装焊芯片(Fl i p Chi p)是面积阵列封装主流类型。BGA/ CSP 和倒装焊芯片的出 现,适应了表面安装技术的需要,解决了高密度、高性能、多功能及高I / O数应用的封装难题。本文介绍 了BGA/ CSP 和倒装焊芯片的封装理论和技术优势及制造流程,并阐述了植球机的基本构成和工作原理。 关键词:面积阵列封装;BGA;CSP;倒装焊芯片;植球机 Area Array Package———BGA/CSP flip chip , LUO Wei-cheng LIU Da-quan ( ) Shanghai MICSON Semiconductor Equipment Co., Ltd.Shanghai 201114,China Abstract :With the rapid development of surface mounting technology, new packaging technologies arise continually and area array packaging technology becomes the main topics of contemporary packages. BGA/CSP and Flip Chip are two of the main area array types. BGA /CSP and flip chip meet the demand of surface mount technology, and resolve the applications with high density, high performance, multiple functions and high I/O counts. In this article, many issues of BGA /CSP and flip chip, such as structure, type, application, development etc are described and introduced. The ball mounting system’s structure and principle are also introduced. Keywords :Area array package ;BGA;CSP;Flip Chip ;ball mounter BGA/CSP (球栅阵列)和倒装片(Flip Chip)作 的表面安装器件。此外,更先进的封装技术,如自动 为当今大规模集成电路的封装形式,引起了电子组 载带焊(TAB)等,可以使得引线间距降至0.2 mm 装行业的关注,并且已经在不同领域中得到应用。 或更细。随着向超细间距领域的发展,表面安装技术 随着表面安装技术的发展,器件引线间距在不 受到了如器件间距、引线框架制造精度、设备、材料 断下降,传统的2.54 mm 和1.27 mm 间距的器件渐 等各种因素的限制。在芯片级,为增强器件的功能和 渐被0.5 mm 的细间距器件所替代,随着这种趋势的 性能不得不增加I/O 数和硅片的尺寸,对于不断增 持续,随之又出现了0.4 mm、0.3 mm 乃至更细间距 高的I/O 数,如果采用传统形式的标准间距的封装, http :// 2009

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