无油涡旋真空泵内部流场的计算机模拟与仿真.docVIP

分类号 密级 UDC 学 位 论 文 作者姓名： 李 指导教师： 杨副教授 东北大学机械工程与自动化学院 申请学位级别： 硕士 学科类别： 工学 学科专业名称： 机械制造及其自动化 论文提交日期： 2008年2月20日 论文答辩日期： 2008年2月28日 学位授予日期： 2008年3月25日 答辩委员会主席： 评阅人： 东 北 大 学 2008年2月 A Dissertation in Mechanical Manufacturing and Automation Computer simulation of oil-free scroll vacuum pump interior flow field by Li Chunyan Supervisor: Associate Professor Yang Guangyan Northeastern University February 2008 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是在导师的指导下完成的。论文中取得的研究成果除加以标注和致谢的地方外，不包含其他人己经发表或撰写过的研究成果，也不包括本人为获得其他学位而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均在论文中作了明确的说明并表示谢意。 学位论文作者签名： 日 期：学位论文版权使用授权书本学位论文作者和指导教师完全了解东北大学有关保留、使用学位论文的规定：即学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人同意东北大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索、交流。 （如作者和导师同意网上交流，请在下方签名；否则视为同意。）学位论文作者签名： 导师签名： 签字日期： 签字日期：无油涡旋真空泵无油涡旋真空泵无油涡旋真空泵无油涡旋真空泵无油涡旋真空泵Computer simulation of oil free scroll vacuum pump interior flow field Abstract Oil free scroll vacuum pump (DSVP)，a kind of oil－free volume vacuum pump, has been widely applied by many microelectronic branches all over the world because of its simple structure，low noise，high reliability，good pumping performance and so on. To meet our countrys development and manufacture of the DSVP，this thesis has made some deep research on DSVP’s moon shape sealed vacuum cavity pressure field and air vent velocity field simulation by computer. The DSVP applies in the place where working conditions request very high clean degree, the pump housing pressure distributions changes and the velocity distribution changes are important facts to understand DSVP’s working principle, efficiency and reliability. This research’s subject is carried on dynamics analysis through mathematics modeling and the finite element method to the DSVP’s vector flow, and also carried on the analysis and the analog simulation by using the ANSYS analysis software, thus obtains important information about vec