快速全光谱反射差分光谱仪的研究.docVIP

附件2 论文中英文摘要 作者姓名：胡春光 论文题目：快速全光谱反射差分光谱仪的研究 作者简介：胡春光，男，1981年3月出生，2002年9月师从于天津大学胡小唐教授先后攻读硕士和博士学位，于2007年6月获博士学位。 中 文 摘 要 纳米科技作为当今科技发展的前沿领域之一，正推动新一轮的工业革命，给人类生活带来前所未有的变化，备受各国的高度重视。以微纳米量级的测量方法和技术为研究内容的微纳表征技术，是纳米科技获得突破和创新的前提。而最具代表性的例子就是扫描隧道显微技术，它的发明为纳米科技开辟了一个全新的局面，促进了纳米科技在三十年来的高速发展。 反射差分光谱技术是另外一种独特的光学微纳表征技术。它以偏振光学为理论基础，通过测量探测光两个相互垂直方向的偏振分量，经样品反射后变化量的差值与平均值的比值，来表征样品因表面电子态、原子排列等引起的光学各向异性属性，探测灵敏度可达到1/100单分子层，同时，它还具有非接触测量、对环境无特殊要求等优点。这使得该技术已在半导体、金属、有机物、液晶等材料的科学研究和工业生产，以及各种薄膜的表面研究中得到广泛应用。然而，这种传统的反射差分技术也存在缺陷，特别是它无法实现实时多波长并行测量，使之无法满足很多科研和应用需求，因此探索新的测量方法，建立相应的测量理论，开发测量仪器是发展反射差分技术面临的新的研究课题。 本论文以反射差分技术快速全光谱测量的新方法、新理论和新仪器开发为研究内容，分两大部分进行研究。第一部分，在传统的反射差分技术的基础上，发展多通道并行测量技术，力图提高现有技术的扩展能力；第二部分，提出全新的测量方法——旋转补偿器式快速全光谱并行测量技术，从建立测量理论、构建第一台实验样机、分析仪器测量误差和评价仪器性能等方面，详细阐述了该技术的理论依据和实现方法，从科学仪器开发（仪器构成、误差源、误差分析和补偿技术等）角度形成一套完整的研究内容。 论文的主要工作和创新点可分为以下五个方面： 1．提出基于光弹调制器式反射差分技术的多通道并行测量新方案，完成一台双通道并行测量样机。 论文在分析光弹调制器式反射差分技术测量原理的基础上，提出采用多通道高速同步采集板与计算机虚拟技术结合的测量方案，分析多通道数据并行处理的方法，理论分析并实验验证采集板性能和信号处理算法对测试精度的影响，通过与商用机进行测试比对，证明多通道并行测量样机的优良性能。 针对光弹晶体调制幅度随波长变化极大地影响并行测量的数据精度和准确度的问题，论文从光弹调制器产生位相延迟的基本工作原理以及决定位相延迟大小的各种因素入手，提出在数据处理中对调制幅度随波长的变化进行实时修正的方法，给出两种在全光谱范围内适用的位相延迟校正算法：改进的波长校正算法和驱动电压校正算法，指出校正算法与测量精度的依存关系，讨论了算法使用的最优条件。 2．提出新的反射差分光谱测量方法——旋转补偿器式多通道并行测量技术，建立测量理论。 论文以偏振光学的矩阵表达式为基础，建立了代表测量原理的数学模型，提出了基于傅立叶分析和最小二乘优化算法的多通道数据并行处理方法，从理论角度对误差因素进行了全面分析，如光学器件自身缺陷、器件装配与驱动误差、传感器与电子测量误差等，确立误差与测量结果间的数学关系。在此基础上，提出了基于起偏器方位角的系统误差标定方法和旋转线性偏振器消除系统误差的在线校正方法。 3．开发第一台旋转补偿器式多功能反射差分光谱仪。 仪器包括光学测量系统，电子控制系统以及操作软件等部分。论文以实现可在线实时测量的仪器为目标，在光学测量系统方面重点讨论光学器件的选型、光学结构的优化以及一机多种测量功能等内容；在电子控制系统方面，提出了补偿器旋转角度与光谱信号同步采集机制，通过开发同步触发器实现仪器测量的灵活性；在仪器的操作方面则通过计算机虚拟技术，实现对硬件的操控和数据的处理，集测量操作、数据分析、结果显示等功能于一体。 4．分析仪器测量误差，评价仪器性能。 根据对测量误差的理论分析，论文首先对多种光源的输出稳定性进行测试，讨论了抑制氙灯输出光强跳变的方法，实验分析各光源输出光强不稳定性对测量的影响及抑制方法。光强的测量噪声也是影响测量的重要因素，论文讨论了这些噪声的来源，如CCD器件自身噪声和光子噪声，实验比较两种探测器的自身噪声，并通过对比两者采集的反射差分谱的质量，讨论CCD器件噪声对测量的影响。研究表面由光强决定的光子噪声是影响测量的主要因素之一，讨论并根据数学模型模拟了补偿器由于自身旋光特性、内部组件排列误差和内部多层界面干涉等因素对其光学特性，如快轴方位角、位相延迟、透光率等参数带来的影响，以及这些因素对测量的干扰等，提出了修正多波片组合的宽光谱补偿器方位角误差的方法——旋转线性偏振器法。另外，论文讨论了优化测试数据的几种数学方法，通过