新厂9T纯水系统运行操作规程.docVIP

目的 使新厂90T纯水系统处于良好的运行状态，确保生产用水的水量及水质。 适用范围 新厂纯水站的运行及维护。 规范性引用文件 QP-6.3-1 设备和设施控制程序 职责 本过程由工程部新厂设施水站操作人员负责并执行日常运行，纯水工程师负责日常运行与维护管理。 术语和定义 无 概况 目前尚能公司纯水工艺由思捷环保科技（深圳）有限公司设计安装及调试(试运行)，产品水主要提供电池车间所有清洗工序、研发实验、PECVD尾气处理装置等的纯水供应；以及工艺冷却水、研发多晶制造的补给水等。 出口水质：电导率≥17MΩ.cm(25 oC) 二氧化硅≤15ppb 微粒≤150个/ml(Φ≥0.5μm) 细菌≤10个/ml 出口压力0.3±0.05Mpa 主要工艺流程（流程图见附页，见图1） 原水 变频泵 砂滤器 保安过滤 UF装置 UF水箱 一级RO供给泵 阻垢剂 碳滤 保安过滤 一级RO增压泵 一级RO装置 一级RO水箱 NaOH 二级RO供给泵 保安过滤 二级RO增压泵 二级RO装置 二级RO水箱 循环泵 混床 变频增压泵 0.45μm过滤器 回流 紫外线杀菌器 0.22μm过滤器 用户 前处理设备操作规程（见图2）。 前处理区域的划分是从原水池到超滤水箱。 原水池为地下水池，容积1200m3 变频原水泵、砂滤反洗泵安装在地下泵房，由管道接至纯水站房。 变频原水泵最大流量150 m3/hr@34m 板式热交换器提升原水温度，其有效换热面积为25m2，最大工作压力0.5Mpa，通常设置温度到25±2 oC 砂过滤器直径d3600mm，最大工作压力0.5Mpa，最大过滤流量150 m3/hr，最大流速14m 前过滤器两台并联，每台内装50支40”滤芯，其过滤精度为5μm，最大工作压力0.3Mpa，滤芯最大工作压差Δ 超滤装置分为（A、B）2组，每组分别由55支8”超滤膜元件组合而成。最大产水流量为62.5 m3/hr/组@25 oC。最小浓水排放量为 超滤装置的最大工作压力为0.3Mpa，最大跨膜压差不得大于ΔP0.15Mpa。 超滤水箱为玻璃钢缠绕圆柱立式水箱，容积80m3 准备工作 确认动力电源和控制电源已经分别送到现场和控制盘。 确认控制用压缩空气已经分别送到各现场电磁阀盘，并确认现场电磁阀盘中的压缩空气的压力是在0.5±0.05Mpa。所有电磁阀的手操开关都在自动状态。 确认地下原水池中有足够的水位（液位计显示为2.5M以上），同时设定液位报警水位高于4.0M声光报警。 系统阀门调整 打开地下水池水泵吸水管总阀，变频原水泵进、出口阀。 原水温度高于20 oC时,打开热交换器旁通阀(KV108)；温度低于20 oC时，需要对原水进行加热，则打开热交换器进口阀（KV107）和出口阀（KV109）以及蒸汽总阀和冷凝水阀（KV106）。 打开砂过滤器工作入口阀（KV111）和工作出口阀（KV115）。 打开超滤前过滤器的进、出口阀。 打开超滤浓水流量调节阀（KV1232a，KV123b），用浓水流量调节阀调整超滤的浓水流量为12m3 打开超滤反洗泵的进、出口阀，用超滤反洗泵出口阀调整超滤反洗时的流量为120m3 电气和自控操作 合上变频原水泵、超滤反洗泵的主回路电源开关，在操作盘上将其选择开关置于“自动”。 以操作员身份登录操作系统，打开超滤的操作界面，用鼠标点击超滤启动按钮，然后对所需要的操作予以确认。 前处理工艺及系统参数设置（需有管理员权限） 砂滤反洗 砂滤反洗的间隔视季节和原水水质而定，砂滤反洗时超滤必须停止运行，所有阀门均在关闭状态。 前水反洗——打开砂滤反洗进水阀（KV112）、反洗排水阀（KV113），砂滤反洗水泵进、出口阀门，用砂滤反洗水泵出口阀调整反洗流量为250m3/hr，砂滤反洗泵的出口压力为0.25Mpa。将砂滤反洗泵的选择开关旋至“手动” 空气擦洗（5min）——打开砂滤空气入口（KV117）。 后水反洗（5min）——打开砂滤反洗出口（KV113）、反洗入口（KV112）、结束后关闭砂滤反洗泵和砂滤阀门。 正洗（10min）——打开砂滤正洗出口（KV114）、工作入口阀（KV111），以及原水变频泵进、出口阀和从原水泵出口至砂滤的管路系统上的相关阀门。将变频原水泵的选择开关旋至“手动”，砂滤正冲洗10min。结束后关闭变频原水泵和砂滤阀门，转入待用