第八章 薄膜材料课程考点札记.docVIP

薄膜材料课程——考点札记（only for exam ） 0、绪论 薄膜Thin Film or Coating 定义：当固体或液体的一维线性尺度（几个到几十个原子层）远远小于它的其他二维尺度时，我们将这样的固体或液体称为膜（在本课中我们关注的是在固态基片上沉积的固体薄膜）。 特性：①薄膜材料的物性会受到薄膜厚度的影响（即，尺寸效应）。 ②薄膜材料的表面积与体积之比很大，表面效应很显著，表面态、表面能、表面散射和表面干涉对它的物性影响很大。 ③薄膜材料中还包含有大量的表面晶粒间界和缺陷态，对电子输运性能也影响很大。 一、等离子体Plasma基本 概念：即电浆，是除固、液、气以外的物质第四种状态，由带电粒子（包括离子、电子、离子团）和中性粒子组成的系统。具体地讲，等离子体就是一种特殊的电离气体。从能量角度讲，即构成分子的原子动能极大，以致脱离化学键的势能束缚，继而成为中性原子或离子，或是电子的动能极大，以致脱离原子核的束缚。 分类：①以产生方法分：自然等离子体（宇宙中的星云、闪电、极光）（ps：自然界中 99%的物质是以等离子体状态存在的）人工等离子体（气体放电、射线辐照、热电离、激光压缩、日光灯放电、核聚变、核裂变） ②以气体电离程度分： 完全电离（a=1）、部分电离（0.01a1）、弱电离（~10-12a0.01） ③按系统温度分：( 1eV=11610K) 高温等离子体LTE（108 K +）、低温等离子体[热等离子体LTE（热平衡状态的等离子体，各粒子温度为5000~20000K）、冷等离子体NTE（非热平衡的，重子温度为100~1000K，电子温度极高，达到105K）] 辉光放电产生冷等离子体；弧光放电与高压水银放电产生热等离子体。 特性：① 温度高、粒子动能大（粒子动能还取决于所加电压，高压时，离子比电子具有更大动能） ② 成分的复杂性（如电子、离子、原子、分子、离子团、活性基团、光子） ③开放性：为了维持放电或控制Plasma 的形态，通常施加外电磁场。如：微波电磁场、射频感应耦合电磁场、静磁场等。对于等离子体工艺过程，放电时要不断进气和抽气。工作气体的密度要改变。 ④空间非均匀性和时间瞬变性；⑤具有发光特性，可用作光源；⑥化学性质活泼，易发生化学反应； 产生方式：直流放电（直流辉光放电、直流电弧放电）、射频放电（电容耦合RF、感应耦合ICP）、微波放电（微波ECR等离子体）、激光烧蚀方法、介质阻挡放电（DBD）、大气压辉光放电 辉光放电属于低气压放电 (low pressure discharge)，在置有板状电极的玻璃管充入低压气体，当两极间电压较高（约1000伏）时，稀薄气体中的残余正离子在电场中加速，有足够的动能轰击阴极，产生二次电子，经簇射过程产生更多的带电粒子，使气体导电。辉光放电的特征是电流强度较小（约几毫安），温度不高，故电管内有特殊的亮区和暗区，呈现瑰丽的发光现象。 特点：结构简单、电离度低、电极受溅射、污染 直流辉光放电区域的划分 射频辉光放电；电容耦合RF：两环形电极以适当间隔匹配在放电管上，加在电极上的高频电场透过玻璃管使气体放电。产生大体积稳态等离子体。平面线圈耦合的ICP：绕在放电管上的线圈代替电极，通过高频磁场在放电管中产生涡流电场使气体电离。 微波放电，特点：微波能量转化为气体分子的内能，使之激发、电离产生等离子体；波导管或天线将微波电源产生的微波耦合到放电管内；无需电极、功率局域集中，可获高密度等离子体。 电子回旋共振微波放电：…… 诊断：即实验中用来确定等离子体中一些物理参数（粒子的密度、温度、输运系数等）的测试方法。 “打进去”的方法：探针方法 人为地向等离子体内部送入各种形式的探针，如 静电探针（Langmuir探针)、微波探针、粒子探针等。 “拉出来”的方法：光谱法（发射光谱、激光诱导、荧光光谱、拍照） 光谱诊断系统由单色仪、光电倍增管、放大器及 记录仪等组成。 “打进去”+ “拉出来”的方法 探针法原理：由于电子的热速度远大于离子的热速度，因此当探针插入到等离子体中时，电子首先到达探针的表面。这样，探针的表面电位是负的。当接上外界电源之后，探针上面就有电流通过。通过测量探针的伏安曲线（V~I），即可以确定出等离子体的密度和电子的温度。 等离子体与固体表面的相互作用：体系区域可分为等离子体区、鞘层、固体表面 ① 吸附和捕获：等离子体中的中性粒子（原子、分子及基团）不受鞘层电场的作用，直接向表面迁移。当中性粒子吸附在固体表面时，将使表面的自由能降低。吸附率 ② 离子注入 ③ 原子的级联运动：如果固体中的原子在同入射离子碰撞时获得能量大于某一阈值时，将做反冲运动