03_2013研发-化材与奈米.PDF

06 Chapter SIX 化 材 與 奈 米 Chemical Materials and Nanotechnology Southern Taiwan University of Science and Technology 化材系/ 黃常寧 作品名稱 氮化鎵奈米柱以a 面或m 面貼合形成面 缺陷之解析式電子顯微鏡研究 計畫分類 國科會一般專題計畫 計畫編號 NSC 102-2218-E-218 -002 作品／技術產業應用範圍 材料與光電工程 。 作品特性 1. 以解析式電子顯微鏡分析氮化鎵薄膜之缺陷密度 ，藉以找出最佳 長晶參數組合 。 2. 以解析式電子顯微鏡鑑定聚合界面之微結構 ，特別針對以氮化鎵 六方晶(hexagonal) 之a 面{11-20} 與m 面{1- 100} 為例比較 不同晶向關係聚合所產生之缺陷集合 。 3. 以高分辨電子顯微影像模擬暨材料內應力分析(strain mapping) 系統 ，來解析界面之缺陷結構、表面能、內應力並與現有理論交 叉比對 ，希望能了解缺陷形成機制。 圖一 ： SEM (a)(b) top view (c) (d)(e) side view image of GaN nanopyramids after the first step of MOVPE growth. 圖二: SEM side view image of GaN coalescence thin film after the second step of MOVPE growth. 065 064 Chapter 06 化 材 與 奈 米 化材系/ 王振乾 作品名稱 胺酯- 草酸共聚合生質材料之製備及其分 解性之研究(1/2) 計畫分類 國科會一般專題計畫 計畫編號 NSC 100-22