15-5PH不锈钢表面多弧离子镀高结合性能TiN膜层研究.PDF

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2017-06-24 发布于天津
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15-5PH不锈钢表面多弧离子镀高结合性能TiN膜层研究

陈美艳等: 不锈钢表面多弧离子镀高结合性能膜层研究 15-5PH TiN 1807 15-5PH不锈钢表面多弧离子镀高结合性能TiN膜层研究∗ , , , , 陈美艳童洪辉沈丽如金凡亚赵燕　 ( , ) 核工业西南物理研究院四川成都 610054 : , , 摘要多弧离子镀方法在不锈钢材料表首先用汽油超声清洗再用丙酮超声清洗最后用酒精　　 15-5PH 、 , 面制备结合力硬度和致密性高的涂层提高材 , 。 TiN 超声脱水干燥每种溶剂中均超声清洗 15min 清洗。料表面硬度和抗高温氧化性能分析结果显示过渡层 , , 后样品烘干装炉抽真空烘烤除气用离子辉光清 Ar 、、成分预热温度工作气压及负偏压等主要参数对膜层 , 。洗准备镀膜。 , , 性能影响明显得到为过渡层时预热气 Ti 250℃ ( , ) 表 1　15-5PH钢的化学成分质量分数 % , , 压 3.0Pa600V偏压镀膜工艺参数最佳制备的膜基 ( ) Table1Chemicalcom ositionsof15-5PH wt% p , , 结合力高于60N 表面硬度1200HV0.05 膜层表面大 C Mn Ni Cr Ti Cu Fe 。、液滴密度尺寸最低膜层表面显微硬度膜层沉积速 0.05 0.58 5.39 14.78 0.10 2.18 Bal. 率和膜基结合力随工作气压升高不同程度地先升高后 2.2　离子镀设备及工艺流程降低。镀膜设