200W级高亮度半导体激光器光纤耦合模块。.PDF

第26卷第11期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．26，No．11 LASER BEAMS Nov．，2014 2014年11月 HIGHPOWER ANDPARTICLE 200 W级高亮度半导体激光器光纤耦合模块。 余俊宏1’2， 郭林辉1’2， 王 昭1’2， 谭 昊1’2， 高松信1’2， 武德勇h2， 张 凯1’2 (1．中国工程物理研究院高能激光科学与技术重点实验室，四川绵阳621999； 2．中国工程物理研究院应用电子学研究所，四川绵阳621999) 摘 要： 光纤激光器系统需要高可靠性、高亮度、高功率光纤耦合输出二极管激光器模块作为泵浦源。 基于mini-bar二极管激光器芯片，采用光束精密准直技术、自由空问合束技术来获得高亮度、高功率光纤耦合 输出，针对光纤芯径为200扯m、数值孔径为o．22的多模光纤，开展了线偏振二极管激光光纤耦合实验，实验结 果表明：光纤稳定输出功率达280w，对应亮度为5．87Mw／(cm2·sr)，电一光效率为45．o％。采用偏振合柬 技术，光纤预期输出功率可达500 w，对应亮度超过10MW／(cm2·sr)。该方法可应用于研制数百瓦级高亮 度二极管激光光纤耦合输出激光器模块。 关键词：高亮度；半导体激光器；光纤耦合；空间合束 中图分类号： TN247 文献标志码： A doi：10．11884／HPLPB201426．111001 由于半导体激光器(DL)光纤耦合模块具有高电光效率、高功率、高可靠性等优点，近年来在材料加工、医 疗、固体和光纤激光器泵浦方面应用需求大量提升。目前国内外DL光纤模块采用的光源芯片主要分为三类： w的单 管模块比]；2011年德国DILAS公司实现光纤芯径200肚m、数值孔径o．22、输出功率500 块L3j。国内长春光学精密机械与物理研究所2010年完成芯径200扯m、数值孑L径O．22、输出功率107w的cm— 较差，耦合进入小芯径光纤需要进行光束分割重排，具有光学系统昂贵复杂和耦合效率较低的缺点；单管激光 器输出功率相对bar条较低，研制大功率DL光纤耦合模块时需要较多的单元器件，整个制作工艺复杂，对光 束的准直及指向精度要求很高。本文提出了一种采用mini_bar半导体激光器芯片，通过光束的精密准直、自 纤耦合过程的能量损失分析。 1 光学设计 在半导体激光器光纤耦合中，通常使用光束参量积Q嘲来评价光束质量，在不考虑像差的影响下，激光束 通过光学元件时Q值不变，其定义为 Q一(cJ。仇／2 (1) 式中：∞。为光束束腰直径；巩为光束远场发散半角。本文选取芯径为200“m，数值孔径o．22的光纤，光纤的 光束参量积为22 准直后最佳耦合效率的临界快慢轴Q值为 ／n n mm·mrad (2) Qfasr．sl。。一些鼍竺穹兰一11．o qjZ N?Z 式中：Q㈧，Q。一ow分别为快慢轴方向的Q值；∽。。，为光纤芯径；巩k。为光纤最大数值孑L径所能容忍的发散角。 实验中采用的mini_bar芯片为单量子阱结构，腔长为4．Omm，增加了散热面积，最大出光功率38．2w@ 40 距为7．93 mm自行设计的慢轴准直透镜(SAC)进行快慢轴光束准直，根据理想快慢轴准直效果，考虑到快慢 轴准直透镜装配误差，芯片快慢轴准直后发散角为4．o×11．omrad。 *收稿日期：2014一04—29；修订日期：2014一07—18