忆稳定氧化错薄膜的制备及其微细加工-无机材料学报.PDFVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 年 月 , 文章编号 一 一 一 忆稳定氧化错薄膜 的制备及 其微细加工 张卫 华, 赵 高扬 西 安 理 工 大 学材 料 科 学 与工 程 学院 , 西 安 摘 要 以 甲醇 为溶剂 , 硝 酸氧错 、 硝酸忆 为前驱物 , 采用溶胶 一 凝胶 方法 , 通过 引入 化学 修饰剂 乙酞丙酮 , 使 乙酞丙酮和错离子形成鳌合物 , 得到 了具有紫外光感光性 的溶胶 ‘ 及其凝胶薄膜 , 提 出了 薄膜 的微 细 图形 加工新方法 一 分光 光度计 的紫外光谱测 试结果表 明 乙酞丙酮 与错离子形成 的赘合物 在室温 、 可 见光 、 大气环 境下 , 可 以存在 于 凝胶 薄膜 中, 并具有较好 的热稳 定性和 光化学稳 定性 , 其 紫外光谱 的特征 吸收 峰大约 在 附 近 紫外激光光源 照射凝胶 薄膜 , 能破 坏 、 分解 凝胶 薄膜 中的这种赘合物 结构 , 使凝 胶 薄膜 的物理化学性质发生变化 , 实验发现 , 经过 紫外激光 照射 的凝胶 薄膜在适 当 的有机溶剂 如 甲醇 等 中的溶解度和溶解速 度显著 降低 , 利 用这一 特性 , 采用 紫外激光通 过掩 膜 照射凝胶 薄膜 , 并在适 当的有机溶剂 中溶洗掉未受照射 的 区域 , 经过 , 热处 理 , 得到 了具有微细 图形 的 薄膜 , 测试表 明该薄膜相 结构为立方相 关 键 词 氧化错 薄膜 溶胶 一 凝胶 感光性 微细 图形 中图分类 号 文献标识码 引言 纯 的或掺 杂 的氧 化错 陶瓷薄