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第二章 高精度测量仪器及其应用 培训要点 本章重点介绍精密测量仪器的基本原理及其应用，通过学习本章，能够掌握合像水平仪、自准直光学量仪、经纬仪的应用，以及机械装配和维修中常见的精度测量。 常用精密测量仪器的基本原理 合像水平仪 合像水平仪与普通水平仪相比较，它具有测量读数范围大的优点。当被测工件的平面度误差较大、或因放置的倾斜度较大而又很难调整时，若使用框式水平仪就会因其水准气泡已偏移到极限位置而无法测量，而使用合像水平仪时，饮水平位置可以重新调整，所以能比较方便地进行测量，而且精度较高。 合像水平仪的水准器安装在杠杆上，转动调节旋钮可以调整其水平位置。 合像水平仪主要用于直线度、平面度的测量。我国产主要型号有CH66,其刻度值为0.01mm/1000mm。 二．自准直光学量仪 自准直光学量仪是根据光学的自准直原理制造的测量仪器，有自准直仪、光学平直仪、测微准直望远镜及经纬仪等多种。 1.光学自准直原理 光学自准仪原理可以通过图2-3加以说明，也就是说在物镜焦平面上的物体，通过物镜及物镜后面反射镜的作用，仍可在物镜焦平面上形成物体的实像。 2.自准直仪 自准直仪又称为自准直平行光管。 自准直仪可用于直线度、平面度、垂直度等误差的测量。 3.光学平直仪 光学平直仪是由平直仪本体和反射镜组成。 光学平直仪是一种精密光学测量仪器，通过转动目镜，可以同时测出工件水平方向和水平垂直的方向的直线性，还可测出滑板运动的直线性。用标准角度量块进行比较，还可以测量角度。光学平直仪可以用于对较大尺寸、高精度的工件和机床导轨进行测量和调整，尤其适用于各种导轨的测量，具有测量精度高、操作简便的优点。 4．测微准直望远镜 测微准直望远镜是根据光学的自准直原理制造的测量仪器，主要用来提供一条测量用的光学基准线。 5.自准直光学量仪的使用和调整方法 6.经纬仪 （1）经纬仪的结构和工作原理 经纬仪的光学原理与测微准直望远镜的光学原理没有本质上的区别。它的特点是具有竖轴和横轴，可以使瞄准望远镜管在水平方向作360°的方向转动，也可以在垂直面内作大角度的俯仰。其水平面和垂直面的转角大小分别由水平度盘和垂直度盘示出，并由测微尺细分，测角精度为2″。 经纬仪是一种高精度的测量仪器，主要用于机床精度检查，如坐标镗床的水平转台、万能转台、以及精神滚齿机和齿轮磨床的精度的测量，它常与自准直光学量仪组成光学系统来被一起使用。 （2）经纬仪的使用和调整方法 三、激光干涉仪 由于激光具有良好的方向性、单色性和能量集中、相干性强等优点，因而用激光作光源，以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数的原理对大尺寸进行精密测量，已经得到广泛的应用。 1、单频激光干涉仪 2、双频激光干涉仪 3、激光干涉仪的应用举例 四、三坐标测量机 三坐标测量机是一种高效的精密测量仪器。它广泛地用于机械和仪器制造、电子工业、汽车和航空工业中，用于对零件和部件的几何尺寸和相互位置的测量。除此之外，它还可以划线、定中心孔、钻孔、铣切模型和样板、刻制光栅及线纹尺、光刻集成线路板等，并可以对连续曲面进行扫描。由于它的测量范围大、精度高、效率快、性能好，已经成为一种大型精密仪器，具有测量中心之称号。 1、基本原理 2、机械结构及测量系统 （1）结构形式 三坐标测量机的三个轴互成直角配置。三个坐标轴的相互配置位置（即总体布局形式）对测量机的精度及对测量工件的适用性关系很大，目前常用的结构形式有以下几种： 1）立轴式，类似于万能工具显微镜的结构。测量范围小，但测量精度较高。 2）卧轴式，适用于测量与工作台面相垂直的工件端面上的检测项目，操作方便。这种结构适用于中型精密测量机。 3）悬臂式，这种结构工作面开阔，工件可以从三个方面不受限制地装卸，测量，有利于测量操作。 4）桥式，这种结构刚性好，三个坐标测量范围较大时也可以保证测量精度，因而适宜作大型测量机的结构。 5）龙门式，龙门式可以分为龙门移动式和龙门固定式两种，优缺点同桥式相似。龙门固定式不适宜测量重型工件，否则工作台运动时惯性太大，不易克服，因此只能作为中型测量机的结构。 第二节 机械装配维修中的精度测量 一、直线度误差测量 1、直线度误差测量方法 直线度误差测量是形状误差测量中最基本的测量项目，也是平面度误差测量的基础。 直线度误差的测量方法主要分为两大类：一类是直接测量法，即将被测物体与选定的不同形式的基准进行比较，直接测出其直线度误差；另一类是间接测量法，即不用预先选定的基准，而是通过两个或两个以上被测件的相互比较，用误差分离的方法求得各表面的直线度误差。 直线度可分为在给定平面内、在给定方向上和在任意方向上的三种情况。在机械装配维修中常用在给定平面内的直线度。 2