纳米薄膜应用.ppt

第六章 纳米薄膜 薄膜是一种物质形态，其膜材十分广泛，单质元素、化合物或复合物，无机材料或有机材料均可制作薄膜。 薄膜与块状物质一样，可以是非晶态的、多晶态的或单晶态的。 近20年来，薄膜科学发展迅速，在制备技术、分析方法、结构观察和形成机理等方面的研究都取得了很大进展。其中无机薄膜的开发和应用更是日新月异，十分引人注目。 薄膜技术目前还是一门发展中的边缘学科，其中不少问题还正在探讨之中。 薄膜的性能多种多样，有电性能、力学性能、光学性能、磁学性能、催化性能、超导性能等。 薄膜在工业上有着广泛的应用，而且在现代电子工业领域中占有极其重要的地位，是世界各国在这一领域竞争的主要内容，也从一个侧面代表了一个国家的科技水平。 薄膜的应用 薄膜在现代科学技术和工业生产中有着广泛的应用 光学系统中使用的各种反射膜、增透膜、滤光片、分束镜、偏振镜等； 电子器件中用的薄膜电阻，特别是平面型晶体管和超大规模集成电路也有赖于薄膜技术来制造； 硬质保护膜可使各种经常受磨损的器件表面硬化，大大增强表面的耐磨程度； 在塑料、陶瓷、石膏和玻璃等非金属材料表面镀以金属膜具有良好的美化装饰效果，有些合金膜还起着保护层的作用； 磁性薄膜具有记忆功能，在电子计算机中作存储记录介质而占有重要地位。 纳米薄膜的分类与结构 纳米薄膜的定义 纳米薄膜是指尺寸在纳米量级的颗粒（晶粒）构成的薄膜或者层厚在纳米量级的单层或多层薄膜。 纳米薄膜的分类 1 按层数划分 纳米单层薄膜和纳米多层薄膜 纳米薄膜的分类与结构 2 按微结构划分 纳米微粒薄膜和纳米厚度薄膜 3 按组分划分 有机纳米薄膜和无机纳米薄膜 4 按薄膜的构成与致密性划分 纳米颗粒薄膜和致密薄膜 纳米薄膜的结构特点 1 纳米颗粒膜的结构 纳米颗粒薄膜是纳米微粒镶嵌于薄膜母体中所构成的复合材料体系。它是由纳米微粒与另一异相物质，包括孔隙、非晶质或其它材料等所组成，可分为纳米孔隙(nanoporous)与纳米复合(nonocomposite)两类薄膜， 颗粒膜虽然外观上为二维体系，但实质上是以零维体系的纳米微粒为主。 纳米薄膜的分类与结构 2 纳米多层膜的结构 纳米多层膜中各层的成分都是由接近化学计量比的成分构成。纳米多层膜的结构，一般多层膜的结构界面平直清晰，看不到明显的界面非晶层和成分混合区。 。 纳米薄膜的特性及其应用 1、纳米薄膜的电学性能 纳米薄膜的电学特性不仅与纳米薄膜的厚度有关，而且还与纳米薄膜中的颗粒的尺寸有关。 金属，当尺寸减小到纳米数量级时，其电学行为发生很大的变化。有人在Au／Al2O3的颗粒膜上观察到电阻反常现象，随着Au含量的增加(增加纳米Au颗粒的数量)，电阻不但不减小，反而急剧增加。 PECVD法制备了纳米晶Si膜，并对其电学性质进行了研究，结果观察到纳米晶Si膜的电导率大大增加，比常规非晶Si膜提高了9个数量级，纳米晶 Si膜的电导率为1S·m-1，而非晶膜的电导率为10-9S·m-1。 纳米薄膜的特性及其应用 2、纳米薄膜的光学性能 纳米薄膜两个突出的特性 吸收光谱的移动与宽化 由于量子尺寸效应以及界面效应，当膜厚度减小时，大多数纳米薄膜能隙将有所增大，会出现吸收光谱的蓝移与宽化现象。 光学非线性 纳米薄膜的特性及其应用 光学非线性 光学线性效应是指介质在光波场(红外、可见、紫外以及x射线)作用下，当光强较弱时，介质的电极化强度与光波电场的一次方成正比的现象。光的反射、折射、双折射等都属于线性光学范畴。而光学非线性效应则是在强光场的作用下介质的极化强度中出现与外加光波电磁场的二次、三次以至高次方成比例的项，也就是说吸收系数和光强之间出现了非线性关系。 当纳米薄膜的厚度与激子波尔半径相比拟或小于激子波尔半径a0时，在光的照射下，薄膜的吸收谱上会出现激子吸收峰。这种激子效应将连同纳米薄膜的小尺寸效应、量子尺寸效应、量子限域效应一起使得强光场中介质的极化强度与外加电磁场的关系出现附加的2次、3次乃至高次项。 纳米薄膜的这种非线性关系可通过薄膜的厚度、膜中晶粒的尺寸大小来进行调整和控制。 纳米薄膜的磁学性能 磁性材料的内能一般与其内部的磁化方向有关，这就是磁各向异性。造成磁各向异性的原因是晶体结构的有序性或磁性体的形状效应。 由于磁性膜厚度很薄，其磁各项异性也与三维体材料有所不同。 在薄膜材料中存在单轴